[實用新型]一種帶隔離板的晶體降溫機構

有效

• 申請號: 202020037066.9
• 申請日: 2020-01-08
• 公開（公告）號: CN211734526U
• 公開（公告）日: 2020-10-23
• 發明（設計）人: 盧陽華;馬向東
• 申請（專利權）人: 深圳晶鑫智造科技有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 深圳市中科創為專利代理有限公司 44384
• 代理人: 彭西洋;謝亮

1.一種帶隔離板的晶體降溫機構，其特征在于，包括一主爐室、設置在主爐室上端的一副爐室、以及與副爐室驅動連接的驅動機構；所述副爐室包括一筒體、設置在筒體底部的隔離板、設置在筒體側壁的轉軸；所述驅動機構的輸出端與所述的轉軸連接，能驅使副爐室運動；所述隔離板的周邊開燕尾槽，該燕尾槽內設有氟橡膠密封圈，用于與副爐室法蘭相扣時保持密封狀態；所述隔離板通過7字型活動軸與筒體底部的法蘭連接；所述副爐室還包括一與隔離板配合的可旋轉鎖扣，該可旋轉鎖扣設置在所述的筒體底部端口處。

2.根據權利要求1所述的帶隔離板的晶體降溫機構，其特征在于，所述副爐室還包括一延長室，該延長室與所述的筒體頂部連接。

3.根據權利要求1所述的帶隔離板的晶體降溫機構，其特征在于，所述主爐室包括呈筒狀形爐體、設置在呈筒狀形爐體開口端的翻轉閥、置于在筒狀形爐體開口端兩側的兩進水口、以及置于筒狀形爐體底部的三通。

4.根據權利要求1所述的帶隔離板的晶體降溫機構，其特征在于，所述驅動機構包括一電機、以及設置在電機輸出端的一減速器；所述減速器的輸出桿對應與所述的副爐室的轉軸驅動連接。