[實(shí)用新型]一種水環(huán)式真空發(fā)生裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202020031424.5
• 申請(qǐng)日: 2020-01-07
• 公開（公告）號(hào): CN211692829U
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊兆明;顏凱;中原司
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江芯暉裝備技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): F04C25/02
• 分類號(hào): F04C25/02;F04C19/00;F04C29/04
• 代理公司: 嘉興海創(chuàng)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 33251
• 代理人: 曾勇

本實(shí)用新型提供了一種水環(huán)式真空發(fā)生裝置，包括具有方形箱體的小推車，方形箱體內(nèi)由隔板分隔為上腔室和下腔室，上腔室內(nèi)固定有水箱，下腔室內(nèi)固定有真空泵，真空泵具有進(jìn)水端、進(jìn)氣端和液氣出口端，進(jìn)水端連接有進(jìn)水管，進(jìn)氣端連接有進(jìn)氣管，水箱具有出水端、排污端、出氣端和液氣進(jìn)口端，出水端連接有出水管，出氣端連接有出氣管，真空泵的液氣出口端與水箱的液氣進(jìn)口端之間通過一連接管連通，進(jìn)水管上連接有三通電磁閥，排污端與三通電磁閥之間通過排污管連通。真空泵在啟動(dòng)后氣體和冷卻水一起流動(dòng)，冷卻水在水桶、真空泵、水箱之間循環(huán)流動(dòng)，將真空泵內(nèi)的工作熱量轉(zhuǎn)移到冷卻水中，對(duì)真空泵進(jìn)行快速高效冷卻，保證了真空泵能長時(shí)間穩(wěn)定工作。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于真空發(fā)生裝置技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種水環(huán)式真空發(fā)生裝置。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體廠，廠務(wù)制程真空系統(tǒng)應(yīng)用于提供制程設(shè)備的真空吸盤或吸筆來搬運(yùn)傳送晶片，是廠務(wù)系統(tǒng)中相當(dāng)重要之支援系統(tǒng)。凡能將特定空間內(nèi)的氣體去除以減低氣體分子數(shù)目，造成某種程度的真空狀態(tài)的設(shè)備稱之為真空發(fā)生裝置。由于廠務(wù)制程真空度的要求為50-200Torr Abs之間，故真空發(fā)生裝置大都為正位移排式，例如水環(huán)式真空發(fā)生裝置。

其中市面上的水冷真空發(fā)生裝置存在著諸如循環(huán)水雜質(zhì)，泵體冷卻不足，提供真空狀態(tài)不穩(wěn)定的問題，易造成吸盤或吸筆在搬運(yùn)傳送晶片中損壞晶片的風(fēng)險(xiǎn)。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是針對(duì)現(xiàn)有的技術(shù)存在上述問題，提出了一種水環(huán)式真空發(fā)生裝置，具有冷卻水循環(huán)管路，對(duì)真空泵進(jìn)行快速高效冷卻，保證了真空泵能長時(shí)間穩(wěn)定工作。

本實(shí)用新型的目的可通過下列技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)：一種水環(huán)式真空發(fā)生裝置，包括具有方形箱體的小推車，其特征在于，方形箱體內(nèi)由隔板分隔為上腔室和下腔室，上腔室內(nèi)固定有水箱，下腔室內(nèi)固定有真空泵，真空泵具有進(jìn)水端、進(jìn)氣端和液氣出口端，進(jìn)水端連接有進(jìn)水管，進(jìn)氣端連接有進(jìn)氣管，水箱具有出水端、排污端、出氣端和液氣進(jìn)口端，出水端連接有出水管，出氣端連接有出氣管，真空泵的液氣出口端與水箱的液氣進(jìn)口端之間通過一連接管連通，進(jìn)水管上連接有三通電磁閥，排污端與三通電磁閥之間通過排污管連通。

進(jìn)一步的，所述的進(jìn)氣管、出氣管、進(jìn)水管、出水管均伸出方形箱體。

進(jìn)一步的，出氣管上連接有消音器。

進(jìn)一步的，所述進(jìn)氣管上連接有調(diào)壓閥和壓力計(jì)。

進(jìn)一步的，本水環(huán)式真空發(fā)生裝置還包括一個(gè)設(shè)置在小推車一側(cè)的水桶，所述出水管和進(jìn)水管均連接在一個(gè)水桶上，出水管上連接有過濾組件，過濾組件包括過濾套管和過濾網(wǎng)，過濾網(wǎng)固定在過濾套管內(nèi)。

進(jìn)一步的，所述進(jìn)水管上連接有手動(dòng)閥。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本水環(huán)式真空發(fā)生裝置具有以下優(yōu)點(diǎn)：

真空泵在啟動(dòng)后氣體和冷卻水一起流動(dòng)，冷卻水在水桶、真空泵、水箱之間循環(huán)流動(dòng)，將真空泵內(nèi)的工作熱量轉(zhuǎn)移到冷卻水中，對(duì)真空泵進(jìn)行快速高效冷卻，保證了真空泵能長時(shí)間穩(wěn)定工作。

附圖說明

圖1為水環(huán)式真空發(fā)生裝置的主視圖；

圖2為水環(huán)式真空發(fā)生裝置的左視圖；

圖3為水環(huán)式真空發(fā)生裝置的右視圖。

圖中，1、方形箱體；2、小推車；3、隔板；4、真空泵；41、進(jìn)水端；42、進(jìn)氣端；43、液氣出口端；44、進(jìn)水管；45、進(jìn)氣管；5、水箱；51、出水端；52、排污端；53、出氣端；54、液氣進(jìn)口端；55、出水管；56、出氣管；57、排污管；6、連接管；7、三通電磁閥；8、消音器；9、調(diào)壓閥；10、壓力計(jì)；11、手動(dòng)閥； 12、水桶；13、過濾組件。

具體實(shí)施方式