[實(shí)用新型]一種防止旋轉(zhuǎn)不平衡的石墨基座

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202020026043.8
• 申請(qǐng)日: 2020-01-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN211570768U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-09-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 藍(lán)圖;黃洪福
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 深圳市志橙半導(dǎo)體材料有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C16/458
• 分類(lèi)號(hào): C23C16/458
• 代理公司: 深圳市添源知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44451
• 代理人: 黎健任

1.一種防止旋轉(zhuǎn)不平衡的石墨基座，包括旋轉(zhuǎn)基座、安裝槽，所述安裝槽設(shè)置在旋轉(zhuǎn)基座的中心位置并從旋轉(zhuǎn)基座的上表面向底部延伸，其特征在于，還包括與銷(xiāo)釘配合連接的卡槽，所述安裝槽的外側(cè)周?chē)鶆蛲钩鲈O(shè)置有多個(gè)卡槽，所述卡槽從旋轉(zhuǎn)基座的上表面向底部延伸，所述卡槽與安裝槽連通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述防止旋轉(zhuǎn)不平衡的石墨基座，其特征在于，所述安裝槽的槽口為圓形，所述卡槽的軸心方向與安裝槽槽口的圓周切線(xiàn)方向的夾角為0°~180°。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述防止旋轉(zhuǎn)不平衡的石墨基座，其特征在于，所述卡槽的軸心方向與安裝槽槽口的圓周切線(xiàn)方向垂直。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述防止旋轉(zhuǎn)不平衡的石墨基座，其特征在于，所述卡槽的深度小于安裝槽的深度。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述防止旋轉(zhuǎn)不平衡的石墨基座，其特征在于，所述安裝槽為兩層，所述安裝槽上端為圓柱形腔體，下端為底面與圓柱形底面重合的倒錐形腔體，所述卡槽與安裝槽的上端連通。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述防止旋轉(zhuǎn)不平衡的石墨基座，其特征在于，所述卡槽槽口與旋轉(zhuǎn)基座上表面的連接處設(shè)有倒角，所述倒角從卡槽槽口向安裝槽槽口延伸。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述防止旋轉(zhuǎn)不平衡的石墨基座，其特征在于，所述卡槽為沿旋轉(zhuǎn)基座上表面垂直向下延伸的柱形腔體，所述卡槽的兩個(gè)側(cè)面互相平行并一端連通安裝槽，所述兩個(gè)側(cè)面均與安裝槽旋轉(zhuǎn)圓周的切線(xiàn)垂直，所述兩個(gè)側(cè)面的另一端連接一個(gè)半圓性弧面。

8.根據(jù)權(quán)利要求1或7所述防止旋轉(zhuǎn)不平衡的石墨基座，其特征在于，所述卡槽的深度為2-20mm，所述卡槽沿安裝槽旋轉(zhuǎn)圓周切線(xiàn)方向的寬度為1-6mm。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述防止旋轉(zhuǎn)不平衡的石墨基座，其特征在于，所述石墨基座均勻設(shè)有2-12個(gè)卡槽。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述防止旋轉(zhuǎn)不平衡的石墨基座，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)基座為圓柱體。