[實(shí)用新型]一種快速冷卻系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020020657.5
• 申請日: 2020-01-06
• 公開（公告）號: CN211739599U
• 公開（公告）日: 2020-10-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 丁鳳亭;馮利民
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州華興源創(chuàng)科技股份有限公司
• 主分類號: F25D1/00
• 分類號: F25D1/00;F25B9/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實(shí)用新型公開了一種快速冷卻系統(tǒng)，包括：安裝板、設(shè)置在所述安裝板上的渦流管、調(diào)速閥、降音噴嘴以及連接在渦流管與調(diào)速閥、調(diào)速閥與降音噴嘴之間的氣管；其中，所述渦流管的入口與氣源連通，所述渦流管的冷空氣出口連通至所述調(diào)速閥，所述渦流管的熱空氣出口通過排氣管連通至外部大氣；本實(shí)用新型采用壓縮空氣作為氣源，使用體積極小的渦流管對壓縮空氣進(jìn)行快速降溫，并通過降音噴嘴傳送至待冷卻產(chǎn)品處，相對于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型無需旁置體積較大的設(shè)備，節(jié)省了車間空間。而采用冷卻風(fēng)直吹產(chǎn)品的方式，不僅可以增加冷風(fēng)與產(chǎn)品的接觸面積，還降低了產(chǎn)品承載治具的加工要求及與產(chǎn)品貼合度的要求，進(jìn)而大幅降低了生產(chǎn)成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及自動(dòng)冷卻領(lǐng)域，特別涉及一種快速冷卻系統(tǒng)。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體芯片在生產(chǎn)完后，需要對其進(jìn)行耐高溫檢測，以保證后期工作時(shí)的穩(wěn)定性和可靠性。在耐高溫檢測完成后，需要對半導(dǎo)體芯片進(jìn)行快速冷卻，以便進(jìn)行下一道工序檢測。

現(xiàn)有的芯片冷卻方案有兩種，一種采用水循環(huán)冷卻，即在測試車間外部設(shè)置冷卻水塔，通過循環(huán)水管將冷卻水塔中的冷卻水引入到測試車間，然后搭接由水冷機(jī)構(gòu)成的冷卻系統(tǒng)，將冷卻水引入承載產(chǎn)品的工位進(jìn)行冷卻，從而對產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)降溫和控溫。另一種采用冷媒冷卻，該方式與水循環(huán)冷卻類似，都需要旁置外機(jī)，占用車間有效空間，整機(jī)系統(tǒng)復(fù)雜且昂貴。因此，現(xiàn)有的兩種冷卻方式對產(chǎn)品和載具之間的貼合度要求較高，屬于間接冷卻，并且冷卻系統(tǒng)復(fù)雜占空間，漏水或冷媒的風(fēng)險(xiǎn)系數(shù)高，成本高，不適宜半導(dǎo)體行業(yè)使用。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型提供一種快速冷卻系統(tǒng)，可以在有限場地和低預(yù)算的條件下，實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體芯片的快速降溫，進(jìn)而提高生產(chǎn)效率。

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供一種快速冷卻系統(tǒng)，包括：安裝板、設(shè)置在所述安裝板上的渦流管、調(diào)速閥、降音噴嘴以及連接在渦流管與調(diào)速閥、調(diào)速閥與降音噴嘴之間的氣管；其中，所述渦流管的入口與氣源連通，所述渦流管的冷空氣出口連通至所述調(diào)速閥，所述渦流管的熱空氣出口通過排氣管連通至外部大氣；所述渦流管接收氣源的壓縮空氣并將該壓縮空氣轉(zhuǎn)換為冷空氣和熱空氣，冷空氣通過所述調(diào)速閥和降音噴嘴噴出至產(chǎn)品，熱空氣通過排氣管排出車間至外部大氣。

作為優(yōu)選，還包括減壓閥，所述減壓閥設(shè)置在渦流管與氣源之間，以調(diào)節(jié)壓縮空氣的進(jìn)氣壓力。

作為優(yōu)選，還包括電磁閥，所述電磁閥設(shè)置在所述渦流管與所述減壓閥之間，以控制所述壓縮空氣的通斷。

作為優(yōu)選，所述氣管上包裹有消音棉。

作為優(yōu)選，所述安裝板上設(shè)置有隔離防水槽，以隔離和收集冷凝水。

作為優(yōu)選，所述降音噴嘴包括：噴嘴本體、散熱板和噴頭，其中，所述噴頭安裝在所述噴嘴本體的內(nèi)部，所述噴頭的入口與所述噴嘴本體的入口對應(yīng)，所述散熱板密封安裝于所述噴嘴本體的出口處，且所述散熱板上開設(shè)有若干散熱孔。

作為優(yōu)選，所述噴嘴本體包括喇叭狀的連接部和形狀與所述散熱板對應(yīng)的擴(kuò)散部，其中，所述連接部中設(shè)置有用于容納所述噴頭的腔體，所述擴(kuò)散部上設(shè)置有密封圈和導(dǎo)流塊。

作為優(yōu)選，所述降音噴嘴設(shè)置于待冷卻產(chǎn)品的下方，且與待冷卻產(chǎn)品非接觸式連接。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型采用壓縮空氣作為氣源，使用體積極小的渦流管對壓縮空氣進(jìn)行快速降溫，并通過降音噴嘴傳送至待冷卻產(chǎn)品處，相對于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型無需旁置體積較大的設(shè)備，節(jié)省了車間空間。而采用冷卻風(fēng)直吹產(chǎn)品的方式，不僅可以增加冷風(fēng)與產(chǎn)品的接觸面積，還降低了產(chǎn)品承載治具的加工要求及與產(chǎn)品貼合度的要求，進(jìn)而大幅降低了生產(chǎn)成本。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的快速冷卻系統(tǒng)的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型的快速冷卻系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；