[實用新型]一種等離子自動密封門

有效

• 申請號: 202020019306.2
• 申請日: 2020-01-06
• 公開（公告）號: CN212054377U
• 公開（公告）日: 2020-12-01
• 發明（設計）人: 李志強
• 申請（專利權）人: 深圳市方瑞科技有限公司
• 主分類號: E06B5/12
• 分類號: E06B5/12;E05F15/50
• 代理公司: 深圳市徽正知識產權代理有限公司 44405
• 代理人: 盧杏艷

本實用新型涉及等離子真空裝置技術領域，具體指一種等離子自動密封門；包括活動門，所述活動門的兩側均設有導向側板，兩個導向側板上均設有開閉機構，開閉機構與活動門配合連接；所述導向側板的內側設有線性導軌，導向側板通過直線軸承與線性導軌活動連接；還包括兩個位移氣缸，兩個位移氣缸的輸出端分別與導向側板固定連接；本實用新型結構合理，通過開閉氣缸驅動活動門使其上下活動，由兩個位移氣缸驅動導向側板進行同步的橫向活動，從而開啟或關閉密封艙的活動門，整體結構緊湊，動作穩定。

技術領域

本實用新型涉及等離子真空裝置技術領域，具體指一種等離子自動密封門。

背景技術

等離子技術是指處于電離狀態的氣態物質，其中帶負電荷的粒子(電子、負離子)數等于帶正電荷的粒子(正離子)數。通過氣體放電或加熱的辦法，從外界獲得足夠能量，使氣體分子或原子中軌道所束縛的電子變為自由電子，便可形成等離子體。等離子體本身是一種良導體，所以能利用磁場來控制等離子體的分布和它的運動，這有利于化工過程的控制。

等離子技術應用的前提都需要在抽真空環境下，即等離子加工設備必須具備抽真空腔體，而抽真空腔體需要用密封門來保證其內部的密封性。等離子加工裝置一般包括抽真空腔體和密封門，抽真空腔體和密封門之間通過結構配合構成封閉結構，二者之間的結合部通過密封膠條保證氣密性。現有的等離子抽真空設備結構復雜，成本很高，占用空間較多，穩定性存在不足。

因此，有必要對現有技術進行改進和發展。

實用新型內容

本實用新型的目的在于針對現有技術的缺陷和不足，提供一種結構緊湊、動作穩定的等離子自動密封門。

為了實現上述目的，本實用新型采用以下技術方案：

本實用新型所述的一種等離子自動密封門,包括活動門，所述活動門的兩側均設有導向側板，兩個導向側板上均設有開閉機構，開閉機構與活動門配合連接；所述導向側板的內側設有線性導軌，導向側板通過直線軸承與線性導軌活動連接；還包括兩個位移氣缸，兩個位移氣缸的輸出端分別與導向側板固定連接。

根據以上方案，所述開閉機構包括直臂、曲臂和開閉氣缸，開閉氣缸固定連接在導向側板的外側面上，直臂的兩端分別連接在導向側板和活動門上；所述曲臂的轉動中心與導向側板轉動連接，曲臂的兩端分別連接在活動門和開閉氣缸的輸出端上。

根據以上方案，所述兩個導向側板之間連接有同步桿，同步桿的兩端分別連接在對應曲臂的轉動中心上。

根據以上方案，所述活動門的面板內側設有緩沖彈簧。

根據以上方案，所述活動門兩個側板的內壁上設有滑動裝置。

本實用新型有益效果為：本實用新型結構合理，通過開閉氣缸驅動活動門使其上下活動，由兩個位移氣缸驅動導向側板進行同步的橫向活動，從而開啟或關閉密封艙的活動門，整體結構緊湊，動作穩定。

附圖說明

圖1是本實用新型的整體結構示意圖。

圖中：

1、活動門；2、導向側板；3、開閉機構；11、緩沖彈簧；12、滑動裝置；21、線性導軌；22、直線軸承；23、位移氣缸；24、同步桿；31、直臂；32、曲臂；33、開閉氣缸。

具體實施方式

下面結合附圖與實施例對本實用新型的技術方案進行說明。