[實用新型]一種陣列式液滴晶體制備裝置

有效

• 申請號: 202020009872.5
• 申請日: 2020-01-03
• 公開（公告）號: CN211713241U
• 公開（公告）日: 2020-10-20
• 發明（設計）人: 周禹杉
• 申請（專利權）人: 浙江工業大學
• 主分類號: C30B7/02
• 分類號: C30B7/02
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司 33200
• 代理人: 鄭海峰

1.一種陣列式液滴晶體制備裝置，其特征在于包括操作箱、陣列液滴制備模塊、晶體生長基底模塊和溶劑吸收裝置；

所述的操作箱為可封閉腔體，其內部設有溫濕度調控模塊，所述溶劑吸收裝置設置在操作箱上并與操作箱內部連通；所述的操作箱內設有多層晶體生長區域，晶體生長區域之間以隔板相隔，晶體生長區域之間的氣體相通；

所述的晶體生長基底模塊上表面經過疏水處理；晶體生長基底模塊可水平放置在晶體生長區域內，并可從晶體生長區域取出；

所述的陣列液滴制備模塊包括若干結構相同呈陣列布置的滴液管，陣列液滴制備模塊用于向晶體生長基底板滴液；滴液時，陣列液滴制備模塊位于晶體生長基底模塊正上方。

2.根據權利要求1所述的陣列式液滴晶體制備裝置，其特征在于所述的操作箱側邊設有基底進出門，基底進出門與操作箱箱體之間設有密封條。

3.根據權利要求1所述的陣列式液滴晶體制備裝置，其特征在于所述的溶劑吸收模塊包括筒體和與筒體相連的吸氣泵，所述的筒體內填充有固體吸收劑，筒體與操作箱內的空腔相通。

4.根據權利要求1所述的陣列式液滴晶體制備裝置，其特征在于所述的溫濕度調控模塊包括控制器、加熱器、冷風機、加濕器和溫濕度傳感器，所述的溫濕度傳感器與控制器相連用于傳輸溫濕度檢測數據，所述的控制器與加熱器、冷風機、加濕器電連接。

5.根據權利要求1所述的陣列式液滴晶體制備裝置，其特征在于所述的滴液管內設有活塞，滴液管底部設有滴液頭；所述的陣列液滴制備模塊還包括至少一個步進電機，所述滴液管的活塞通過連接件與步進電機相連；所述陣列液滴制備模塊內的活塞同步運動。

6.根據權利要求1所述的陣列式液滴晶體制備裝置，其特征在于所述的晶體生長基底模塊上表面為光滑平面。