[實用新型]蒸鍍機噴嘴疏通裝置

有效

• 申請號: 202020008168.8
• 申請日: 2020-01-02
• 公開（公告）號: CN211445878U
• 公開（公告）日: 2020-09-08
• 發明（設計）人: 范飛飛;曹景博
• 申請（專利權）人: 合肥欣奕華智能機器有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/12;C23C14/04
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 李欣

本實用新型涉及蒸鍍技術領域，公開一種蒸鍍機噴嘴疏通裝置，蒸鍍機噴嘴疏通裝置包括：直線驅動組件和疏通組件；其中，直線驅動組件用于驅動疏通組件沿預設方向作伸縮運動，以使疏通組件進出噴嘴。在上述蒸鍍機噴嘴疏通裝置中，當噴嘴發生堵塞時，利用直線驅動組件驅動驅動疏通組件沿預設方向外伸，疏通組件插入對應的被堵塞的噴嘴，將噴嘴內側壁附著的蒸鍍材料清除掉，使噴嘴恢復通暢性，隨后，直線驅動組件驅動疏通組件回縮，疏通組件從噴嘴中出來，完成對噴嘴的疏通工作，蒸鍍材料經過噴嘴蒸發出來的速率恢復至噴嘴堵塞前的速率，蒸鍍材料在基板表面形成的薄膜厚度恢復均勻。

技術領域

本實用新型涉及蒸鍍技術領域，特別涉及一種蒸鍍機噴嘴疏通裝置。

背景技術

OLED(有機電致發光二極管，organic light-emitting diode)顯示面板制備過程中，通常利用蒸鍍技術在基板上形成有機薄膜等膜層，蒸鍍機中的蒸發源一般包括外部的殼體、位于殼體中的坩堝，以及，位于殼體頂部出口處的噴嘴，坩堝中揮發出的蒸鍍材料(如有機物)經噴嘴蒸發至掩膜板和基板表面，通過掩膜板在基板表面形成特定形狀的圖案。

但是，蒸鍍機經過一定時間使用，蒸發的蒸鍍材料容易在噴嘴內壁凝結，噴嘴被堵塞，蒸鍍材料的蒸鍍速率下降，導致蒸鍍材料在基板表面形成的薄膜厚度不均勻。

實用新型內容

本實用新型公開了一種蒸鍍機噴嘴疏通裝置，用于疏通蒸鍍機噴嘴，以防止噴嘴堵塞導致蒸鍍材料的蒸鍍速率下降，緩解蒸鍍材料在基板表面形成的薄膜厚度不均勻的技術問題。

為達到上述目的，本實用新型提供以下技術方案：

一種蒸鍍機噴嘴疏通裝置，包括：直線驅動組件和疏通組件；其中，

所述直線驅動組件用于驅動所述疏通組件沿預設方向作伸縮運動，以使所述疏通組件進出所述噴嘴。

在上述蒸鍍機噴嘴疏通裝置中，當噴嘴發生堵塞時，利用直線驅動組件驅動疏通組件沿預設方向外伸，疏通組件插入對應的被堵塞的噴嘴，將噴嘴內側壁附著的蒸鍍材料清除掉，使噴嘴恢復通暢性，隨后，直線驅動組件驅動疏通組件回縮，疏通組件從噴嘴中出來，完成對噴嘴的疏通工作，蒸鍍材料經過噴嘴蒸發出來的速率恢復至噴嘴堵塞前的速率，蒸鍍材料在基板表面形成的薄膜厚度恢復均勻。

可選地，所述蒸鍍機噴嘴疏通裝置還包括旋轉驅動組件，所述旋轉驅動組件用于驅動所述疏通組件轉動。

可選地，所述旋轉驅動組件包括馬達，所述馬達與所述疏通組件傳動連接。

可選地，所述疏通組件包括疏通桿，其中，所述疏通桿的軸線方向平行于所述預設方向。

可選地，所述疏通組件還包括沿所述疏通桿的周向側面分布的彈性清潔絲。

可選地，所述疏通桿的自由端呈錐形。

可選地，所述彈性清潔絲避開所述疏通桿的呈錐形的自由端設置。

可選地，所述直線驅動組件包括直線驅動件和承載架，所述疏通組件安裝于所述承載架，所述直線驅動件用于驅動所述承載架沿所述預設方向伸縮運動。

可選地，疏通組件的數量為多個，多個疏通組件沿直線分布于所述承載架。

可選地，直線驅動件的數量至少為兩個；

沿多個疏通組件的排列方向，至少一個直線驅動件與所述承載架的一端傳動連接，至少一個直線驅動件與所述承載架的另一端傳動連接。

附圖說明

圖1為本申請實施例提供的蒸鍍機噴嘴疏通裝置與蒸發源的位置關系主視圖；

圖2為圖1的側視圖；