[實用新型]一種半導(dǎo)體生產(chǎn)拋光頭模具打磨裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020004613.3
• 申請日: 2020-01-02
• 公開（公告）號: CN212553357U
• 公開（公告）日: 2021-02-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉衛(wèi)科
• 申請（專利權(quán)）人: 自貢國晶科技有限公司
• 主分類號: B24B53/00
• 分類號: B24B53/00;B24B41/02;B24B41/06;B24B55/06
• 代理公司: 深圳峰誠志合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44525
• 代理人: 趙愛婷

本實用新型公開了一種半導(dǎo)體生產(chǎn)拋光頭模具打磨裝置，涉及到半導(dǎo)體模具加工技術(shù)領(lǐng)域。包括底板，所述底板的頂端設(shè)置有電動推桿一，所述電動推桿一的頂端設(shè)置有支撐板，所述支撐板的另一端設(shè)置有電動推桿二，所述電動推桿二的下方設(shè)置有夾持外殼，所述夾持外殼的外表面設(shè)置有圓形通孔，所述圓形通孔的內(nèi)部設(shè)置有螺紋旋進(jìn)桿，所述底板的頂端遠(yuǎn)離電動推桿一的一側(cè)設(shè)置有基座，所述基座的頂端設(shè)置有電機(jī)，所述電機(jī)的輸出軸的端部設(shè)置有打磨頭。有益效果：利用打磨頭對半導(dǎo)體拋光模具進(jìn)行打磨，使半導(dǎo)體打磨設(shè)備表面更加平整，有利于保證在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中設(shè)備能正常的為晶圓片的生產(chǎn)提供良好的運行環(huán)境。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及半導(dǎo)體模具加工技術(shù)領(lǐng)域，具體來說，涉及一種半導(dǎo)體生產(chǎn)拋光頭模具打磨裝置。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體晶圓片生產(chǎn)拋光模具是半導(dǎo)體晶圓片生產(chǎn)過程中的消耗品，其主要組成部分為拋光頭，拋光頭模具在工作過程中會產(chǎn)生磨損這樣會對半導(dǎo)體晶圓片拋光產(chǎn)生凹槽，凹槽太深，影響晶圓片的表面光潔程度，使半導(dǎo)體的合格率下降。

針對相關(guān)技術(shù)中的問題，目前尚未提出有效的解決方案。

實用新型內(nèi)容

針對相關(guān)技術(shù)中的問題，本實用新型提出一種半導(dǎo)體生產(chǎn)拋光頭模具打磨裝置，以克服現(xiàn)有相關(guān)技術(shù)所存在的上述技術(shù)問題。

本實用新型的技術(shù)方案是這樣實現(xiàn)的：

一種半導(dǎo)體生產(chǎn)拋光頭模具打磨裝置，包括底板，所述底板的頂端設(shè)置有電動推桿一，所述電動推桿一的頂端設(shè)置有支撐板，所述支撐板的另一端設(shè)置有電動推桿二，所述電動推桿二的下方設(shè)置有夾持外殼，所述夾持外殼的外表面設(shè)置有圓形通孔，所述圓形通孔的內(nèi)部設(shè)置有螺紋旋進(jìn)桿，所述底板的頂端遠(yuǎn)離電動推桿一的一側(cè)設(shè)置有基座，所述基座的頂端設(shè)置有電機(jī)，所述電機(jī)的輸出軸的端部設(shè)置有打磨頭。

進(jìn)一步，所述電動推桿二的底端設(shè)置有螺紋孔，所述夾持外殼的頂端設(shè)置有螺紋桿，所述螺紋桿設(shè)置在螺紋孔的內(nèi)部。

進(jìn)一步，所述底板靠近電動推桿一的一端設(shè)置有吸塵箱，所述吸塵箱的內(nèi)部設(shè)置有除塵板，所述吸塵箱的頂端設(shè)置有箱蓋，所述吸塵箱的側(cè)面設(shè)置有吸風(fēng)管，所述吸風(fēng)管的另一端設(shè)置有吸風(fēng)罩。

進(jìn)一步，所述吸塵箱的內(nèi)部且位于所述除塵板的下方設(shè)置有電機(jī)二，所述電機(jī)二的頂端設(shè)置有風(fēng)扇。

進(jìn)一步，所述除塵板的形狀為錐形，所述吸塵箱的中部設(shè)置有凸緣，所述除塵板設(shè)置在凸緣上。

本實用新型的有益效果為：將需要打磨的半導(dǎo)體生產(chǎn)拋光模具放置到電動推桿二上，旋動螺紋桿，螺紋桿對設(shè)備進(jìn)行加緊，啟動電動推桿，電動推桿對設(shè)備進(jìn)行調(diào)整，啟動電機(jī)，電機(jī)帶動打磨頭對設(shè)備進(jìn)行打磨，同時電動推桿一向上推動支撐板向上運動，然后在啟動電機(jī)二帶動風(fēng)扇旋轉(zhuǎn)，風(fēng)扇轉(zhuǎn)動產(chǎn)生負(fù)壓，將打磨產(chǎn)生的碎屑吸入吸塵箱的內(nèi)部進(jìn)行收集，其中，電動推桿二的底端設(shè)置有螺紋孔，所述夾持外殼的頂端設(shè)置有螺紋桿，所述螺紋桿設(shè)置在螺紋孔的內(nèi)部，從而方便了夾持外殼固定在電動推桿二上，進(jìn)而方便對需要打磨的拋光頭進(jìn)行打磨，底板靠近電動推桿一的一端設(shè)置有吸塵箱，所述吸塵箱的內(nèi)部設(shè)置有除塵板，所述吸塵箱的頂端設(shè)置有箱蓋，所述吸塵箱的側(cè)面設(shè)置有吸風(fēng)管，所述吸風(fēng)管的另一端設(shè)置有吸風(fēng)罩，從而利用吸風(fēng)罩對吸進(jìn)除塵箱內(nèi)部的氣體進(jìn)行過濾，將打磨出的碎屑收集到吸塵箱的內(nèi)部，吸塵箱的內(nèi)部且位于所述除塵板的下方設(shè)置有電機(jī)二，所述電機(jī)二的頂端設(shè)置有風(fēng)扇，利用電機(jī)二帶動風(fēng)扇轉(zhuǎn)動，在吸塵箱內(nèi)部產(chǎn)生負(fù)壓，利用負(fù)壓將碎屑吸入除塵箱的內(nèi)部，除塵板的形狀為錐形，從而增大了除塵板的面積，所述吸塵箱的中部設(shè)置有凸緣，所述除塵板設(shè)置在凸緣上，利用凸緣將除塵板固定在吸塵箱的中部，防止除塵板在除塵箱內(nèi)內(nèi)部活動。

有益效果：利用打磨頭對半導(dǎo)體拋光模具進(jìn)行打磨，使半導(dǎo)體打磨設(shè)備表面更加平整，有利于保證在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中設(shè)備能正常的為晶圓片的生產(chǎn)提供良好的運行環(huán)境。

附圖說明