[實用新型]基于空芯光子晶體光纖的超連續譜激光光源及檢測系統

有效

• 申請號: 202020003897.4
• 申請日: 2020-01-02
• 公開（公告）號: CN211456205U
• 公開（公告）日: 2020-09-08
• 發明（設計）人: 趙曉杰;歐志龍
• 申請（專利權）人: 英諾激光科技股份有限公司
• 主分類號: H01S3/067
• 分類號: H01S3/067;H01S3/094;H01L21/66
• 代理公司: 深圳市精英專利事務所 44242
• 代理人: 鄧星文

1.一種基于空芯光子晶體光纖的超連續譜激光光源，其特征在于，包括飛秒激光器、泵浦耦合裝置以及空芯光子晶體光纖；

所述飛秒激光器用于生成具有飛秒脈沖的初始激光；

所述泵浦耦合裝置用于接收所述初始激光，并將所述初始激光耦合入所述空芯光子晶體光纖內；

所述空芯光子晶體光纖用于對耦合進入其中的初始激光進行增益，以得到目標光束。

2.如權利要求1所述的激光光源，其特征在于，所述飛秒激光器為產生脈寬范圍小于900fs的初始激光的激光器。

3.如權利要求1所述的激光光源，其特征在于，所述泵浦耦合裝置包括耦合光纖、非球面透鏡、光學棱鏡組、耦合物鏡、光學透鏡陣列、全息漫反射器件、衍射光學器件中的任一個或者多個。

4.如權利要求1所述的激光光源，其特征在于，所述空芯光子晶體光纖包括至少一條空芯光子晶體子光纖。

5.如權利要求4所述的激光光源，其特征在于，所述空芯光子晶體子光纖的中心波長位于近紅外波段范圍內。

6.一種檢測系統，其特征在于，包括載物臺、控制單元、成像裝置以及基于空芯光子晶體光纖的超連續譜激光光源；

所述載物臺用于放置待檢測晶圓；

所述控制單元用于控制所述載物臺進行相應的轉動，并控制所述激光光源以及所述成像裝置的工作狀態；

所述成像裝置包括調制單元以及攝像機，所述調制單元用于控制所述激光光源生成的目標光束照射至隨載物臺進行相應轉動的待檢測晶圓的表面；所述攝像機接收所述待檢測晶圓的表面的反射光以及散射光，以得到所述待檢測晶圓的整個表面的掃描圖像，并將所述掃描圖像發送至控制單元進行檢測分析；

其中，所述激光光源包括：飛秒激光器、泵浦耦合裝置以及空芯光子晶體光纖；

所述飛秒激光器用于生成具有飛秒脈沖的初始激光；

所述泵浦耦合裝置用于接收所述初始激光，并將所述初始激光耦合入所述空芯光子晶體光纖內；

所述空芯光子晶體光纖用于對耦合進入其中的初始激光進行增益，以得到目標光束。

7.如權利要求6所述的檢測系統，其特征在于，所述飛秒激光器為產生脈寬范圍小于900fs的初始激光的激光器。

8.如權利要求6所述的檢測系統，其特征在于，所述泵浦耦合裝置包括耦合光纖、非球面透鏡、光學棱鏡組、耦合物鏡、光學透鏡陣列、全息漫反射器件和衍射光學器件中的任一個或者多個。

9.如權利要求6所述的檢測系統，其特征在于，所述空芯光子晶體光纖包括至少一條空芯光子晶體子光纖。

10.如權利要求9所述的檢測系統，其特征在于，所述空芯光子晶體子光纖的中心波長位于近紅外波段范圍內。