[發(fā)明專利]智能功率模塊及其制作設(shè)備、方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202011644066.6 | 申請(qǐng)日: | 2020-12-30 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN114695167A | 公開(kāi)(公告)日: | 2022-07-01 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 劉東子 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 廣東美的制冷設(shè)備有限公司;美的集團(tuán)股份有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/67 | 分類號(hào): | H01L21/67;H01L21/50;H01L21/56;H01L25/16;H01L23/31;H01L23/495 |
| 代理公司: | 深圳市世紀(jì)恒程知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 44287 | 代理人: | 李宇翔 |
| 地址: | 528311 廣*** | 國(guó)省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 智能 功率 模塊 及其 制作 設(shè)備 方法 | ||
1.一種智能功率模塊的制作設(shè)備,所述智能功率模塊包括:復(fù)合基板及固定安裝于所述復(fù)合基板上的引線框架,其特征在于,所述智能功率模塊的制作設(shè)備包括:
整形裝置;
導(dǎo)軌裝置,供所述復(fù)合基板及所述引線框架放置;
厚度測(cè)量?jī)x,與所述導(dǎo)軌裝置的位置對(duì)應(yīng)設(shè)置,以測(cè)量放置于所述導(dǎo)軌裝置上的所述復(fù)合基板及所述引線框架的疊加總厚度值,并輸出對(duì)應(yīng)的厚度值;以及,
電控組件,與所述厚度測(cè)量?jī)x及所述導(dǎo)軌裝置電連接,所述電控組件用于根據(jù)所述復(fù)合基板及所述引線框架的疊加總厚度值超過(guò)預(yù)設(shè)厚度值時(shí),控制所述導(dǎo)軌裝置將所述復(fù)合基板及所述引線框架運(yùn)送至所述整形裝置,以對(duì)所述引線框架進(jìn)行整形。
2.如權(quán)利要求1所述的智能功率模塊的制作設(shè)備,其特征在于,所述電控組件具體用于,在所述復(fù)合基板及所述引線框架的疊加總厚度值超過(guò)預(yù)設(shè)厚度值時(shí),計(jì)算所述復(fù)合基板及所述引線框架的疊加總厚度值與所述預(yù)設(shè)厚度值之間的厚度差;以及,
根據(jù)所述厚度差確定所述引線框架的整形量,并控制所述整形裝置根據(jù)所述整形量對(duì)所述引線框架進(jìn)行整形。
3.如權(quán)利要求2所述的智能功率模塊的制作設(shè)備,其特征在于,所述智能功率模塊的制作設(shè)備還包括:
塑封模具,所述電控組件還用于根據(jù)所述復(fù)合基板及所述引線框架的厚度值不超過(guò)預(yù)設(shè)厚度值時(shí),控制所述導(dǎo)軌裝置將所述復(fù)合基板及所述引線框架運(yùn)送至所述塑封模具,以對(duì)所述引線框架進(jìn)行封裝。
4.如權(quán)利要求3所述的智能功率模塊的制作設(shè)備,其特征在于,所述引線框架具有定位孔,所述塑封模具還包括固定部,供運(yùn)送至所述塑封模具的所述引線框架的定位孔穿入,以對(duì)所述復(fù)合基板及所述引線框架進(jìn)行固定。
5.一種智能功率模塊的制作方法,所述智能功率模塊包括:復(fù)合基板及固定安裝于所述復(fù)合基板上的引線框架,其特征在于,所述智能功率模塊的制作方法包括:
準(zhǔn)備復(fù)合基板及引線框架,所述引線框架包括框體及自所述框體向內(nèi)延伸的多個(gè)第一導(dǎo)電條,將多個(gè)所述第一導(dǎo)電條焊接于所述復(fù)合基板的安裝位;
將所述復(fù)合基板及所述引線框架放置于導(dǎo)軌裝置上,以將所述復(fù)合基板及所述引線框架放置運(yùn)送至厚度測(cè)量?jī)x對(duì)應(yīng)的位置;
測(cè)量所述復(fù)合基板及所述引線框架厚度,并輸出對(duì)應(yīng)的厚度值;以及,
根據(jù)所述復(fù)合基板及所述引線框架的厚度值超過(guò)預(yù)設(shè)厚度值時(shí),控制所述導(dǎo)軌裝置將所述復(fù)合基板及所述引線框架運(yùn)送至整形裝置,以對(duì)所述引線框架進(jìn)行整形。
6.如權(quán)利要求5所述的智能功率模塊的制作方法,其特征在于,在所述根據(jù)所述復(fù)合基板及所述引線框架的厚度值超過(guò)預(yù)設(shè)厚度值時(shí),控制所述導(dǎo)軌裝置將所述復(fù)合基板及所述引線框架運(yùn)送至所述整形裝置,以對(duì)所述引線框架進(jìn)行整形的步驟之后,所述智能功率模塊的制作方法還包括:
將智能功率模塊的電子元件焊接于所述復(fù)合基板對(duì)應(yīng)的安裝位;以及,
準(zhǔn)備封裝模具,將所述復(fù)合基板放置于所述封裝模具內(nèi),將所述封裝模具合模并注入封裝材料,將設(shè)置有電子元件和所述引線框架的復(fù)合基板進(jìn)行密封,以形成智能功率模塊的封裝殼體。
7.如權(quán)利要求6所述的智能功率模塊的制作方法,其特征在于,在所述準(zhǔn)備封裝模具,將所述復(fù)合基板放置于所述封裝模具內(nèi),將所述封裝模具合模并注入封裝材料,將設(shè)置有電子元件和所述引線框架的復(fù)合基板進(jìn)行密封,以形成智能功率模塊的封裝殼體的步驟之后還包括:
切割與多個(gè)所述第一導(dǎo)電條連接的框體,以形成智能功率模塊的功率引腳。
8.一種智能功率模塊,基于如權(quán)利要求5-7任一項(xiàng)所述的智能功率模塊的制作方法制作得到,其特征在于,所述智能功率模塊包括:
復(fù)合基板,所述復(fù)合基板上設(shè)置有多個(gè)安裝位;
功率模塊,安裝于所述復(fù)合基板對(duì)應(yīng)的安裝位;以及,
引線框架,安裝于所述復(fù)合基板對(duì)應(yīng)的安裝位,所述引線框架與所述功率模塊電連接。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





