[發明專利]一種具有自動清潔功能的MEMS電場測量裝置在審
| 申請號： | 202011643060.7 | 申請日： | 2020-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN112816799A | 公開（公告）日： | 2021-05-18 |
| 發明（設計）人： | 唐凱;郎需強 | 申請（專利權）人： | 北京信息科技大學 |
| 主分類號： | G01R29/12 | 分類號： | G01R29/12 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 100192 北*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 具有 自動 清潔 功能 mems 電場 測量 裝置 | ||
1.一種具有自動清潔功能的MEMS電場測量裝置其特征在于，包括如下結構：
一種具有自動清潔功能的MEMS電場測量裝置，不采取封裝結構密封，而是采用屏蔽電極和感應電極都可運動，且具有高頻往復運動功能，通過高頻往復運動實現裝置自動清潔的功能，具體功能模塊如下：
一種具有自動清潔功能的MEMS電場測量裝置由屏蔽電極、屏蔽電極驅動電極、屏蔽電極支撐、感應電極、感應電極驅動電極、感應電極支撐、信號調理電路和控制電路組成；
其中，屏蔽電極可在屏蔽電極驅動電極驅動下沿屏蔽電極支撐往復運動，實現兩個功能，第一個功能是對感應電極的屏蔽與去屏蔽，第二個功能是通過自身的往復運動，實現對灰塵的去除；
感應電極可在感應電極驅動電極驅動下沿感應電極支撐往復運動，實現兩個功能，第一個功能是配合屏蔽電極的運動，實現更大振幅的感應電極的屏蔽與去屏蔽，第二個功能是通過自身的往復運動，實現對灰塵的去除；
屏蔽電極驅動電極和感應電極驅動電極分別有兩個工作頻率，頻率1是測量頻率，頻率2是清潔頻率，其中頻率2比頻率1高；
信號調理電路對感應電極輸出的感應電流進行放大、濾波和輸出，實現對感應信號的調理；
控制電路控制屏蔽電極驅動電極和感應電極驅動電極的工作模式和工作頻率。
2.一種具有自動清潔功能的MEMS電場測量裝置其特征在于，包括如下工作步驟：
步驟一：在控制電路控制下，屏蔽電極在屏蔽電極驅動電極驅動下沿屏蔽電極支撐往復運動，運動頻率為頻率1，同時感應電極在感應電極驅動電極驅動下沿感應電極支撐往復運動，運動頻率為頻率1；
步驟二：在步驟一的前提下，裝置工作為測量模式，信號調理電路對感應電極輸出的感應電流進行放大、濾波和輸出，實現對感應信號的調理輸出；
步驟三：步驟一和步驟二持續5s后，在控制電路控制下，屏蔽電極在屏蔽電極驅動電極驅動下沿屏蔽電極支撐往復運動，運動頻率為頻率2，同時感應電極在感應電極驅動電極驅動下沿感應電極支撐往復運動，運動頻率為頻率2；
步驟四：在步驟三前提下，裝置工作為自動清潔模式，通過頻率2(高頻率)的屏蔽電極和感應電極的獨立高頻往復運動，實現對灰塵的振蕩清潔作用，從而實現對MEMS結構的自動清潔。
步驟五：步驟三和步驟四持續1s后，裝置返回步驟一。
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