[發明專利]一種發光二極管的外延片生長裝置

在審

• 申請號: 202011641892.5
• 申請日: 2020-12-31
• 公開（公告）號: CN112802777A
• 公開（公告）日: 2021-05-14
• 發明（設計）人: 祁曉峰;周曄;魏良
• 申請（專利權）人: 江蘇長弘半導體有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L33/00
• 代理公司: 蘇州市中南偉業知識產權代理事務所(普通合伙) 32257
• 代理人: 王敏

1.一種發光二極管的外延片生長裝置，其特征在于，包括底板（1）、反應室（2）、進氣管（3）、出氣管（4）、風機（5）、第一閥門（6）、第二閥門（7）和真空機構，所述反應室（2）固定安裝在底板（1）上，所述反應室（2）內部設置有腔室，所述進氣管（3）固定安裝在反應室（2）上并與腔室連通，新鮮空氣經進氣管（3）輸送至底板（1）腔室內，所述出氣管（4）固定安裝在反應室（2）上并與腔室連通，所述出氣管（4）的輸出端與風機（5）的輸入端連接，所述風機（5）固定安裝在底板（1）上，所述風機（5）通過出氣管（4）將底板（1）腔室內的廢氣抽出，所述風機（5）的輸出端與廢氣回收機構連通，所述第一閥門（6）固定安裝在進氣管（3）上，所述第二閥門（7）固定安裝在出氣管（4）上，所述真空裝置固定安裝在底板（1）上并與反應室（2）連通，所述真空裝置用于反應室（2）腔室內抽真空。

2.如權利要求1所述的一種發光二極管的外延片生長裝置，其特征在于，真空裝置真空泵（8）和真空管（9），所述真空泵（8）固定安裝在底板（1）上，所述真空泵（8）的輸入端與真空管（9）的輸出端連接，所述真空管（9）的輸入端與反應室（2）的輸出端連接。

3.如權利要求1所述的一種發光二極管的外延片生長裝置，其特征在于，還包括第三閥門（10），所述第三閥門（10）固定安裝在真空管（9）上。

4.如權利要求2所述的一種發光二極管的外延片生長裝置，其特征在于，還包括第一壓力表（11）和第二壓力表（12），所述第一壓力表（11）固定安裝在真空管（9）上，所述第二壓力表（12）固定安裝在進氣管（3）上。

5.如權利要求1所述的一種發光二極管的外延片生長裝置，其特征在于，還包括鉸鏈（13）和門板（14），所述鉸鏈（13）安裝在反應室（2）上，所述門板（14）通過鉸鏈（13）與反應室（2）轉動連接。

6.如權利要求5所述的一種發光二極管的外延片生長裝置，其特征在于，還包括把手（15）和鎖扣（16），所述把手（15）安裝在門板（14）上，所述鎖扣（16）安裝在把手（15）上。

7.如權利要求1所述的一種發光二極管的外延片生長裝置，其特征在于，還包括若干組螺栓（17），若干組所述螺栓（17）安裝在反應室（2）上并與底板（1）連接。

8.如權利要求3所述的一種發光二極管的外延片生長裝置，其特征在于，所述第一閥門（6）、第二閥門（7）和第三閥門（10）均采用單向閥。