[發明專利]一種柔性AMOLED掩模版表面鍍膜設備

有效

• 申請號: 202011641657.8
• 申請日: 2020-12-31
• 公開（公告）號: CN112853273B
• 公開（公告）日: 2022-12-16
• 發明（設計）人: 錢超;余洋;黃斌;植啟東
• 申請（專利權）人: 南京深光科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/04;C23C14/12;C23C14/50;C23C14/56
• 代理公司: 濟南鼎信專利商標代理事務所(普通合伙) 37245
• 代理人: 梁國海

1.一種柔性AMOLED掩模版表面鍍膜設備，包括蒸鍍腔室(1)、固定裝置(12)和除塵裝置(13)，其特征在于：所述蒸鍍腔室(1)的一側外壁固定連接有電機，所述電機的輸出軸固定連接有螺紋桿(2)，所述螺紋桿(2)的外壁固定連接有滑動塊(3)，所述滑動塊(3)的頂部外壁固定連接有蒸鍍源(4)，所述蒸鍍腔室(1)的內壁兩側均固定連接有掩模版支撐架(5)，所述掩模版支撐架(5)的頂部外壁設置有掩模版(6)，所述蒸鍍腔室(1)的兩側內壁且位于掩模版支撐架(5)的上方固定連接有基板支撐架(7)，所述基板支撐架(7)的一側外壁固定連接有支撐板(8)，所述基板支撐架(7)的一側外壁且位于支撐板(8)的上方固定連接有支撐箱(9)，所述支撐箱(9)的內壁設置有基板(10)，所述支撐箱(9)的內壁滑動連接有按壓板(11)；

所述固定裝置(12)包括第一磁性塊(121)與第二磁性塊(122)，所述第一磁性塊(121)與第二磁性塊(122)的外壁之間固定連接有彈簧(123)，所述第一磁性塊(121)的底部外壁活動連接有第一活動桿(124)與第二活動桿(125)，所述第一活動桿(124)與第二活動桿(125)交叉活動連接，所述第一活動桿(124)與第二活動桿(125)的外壁均套接有第一磁性套(126)和第二磁性套(127)；

所述第一磁性塊(121)與第二磁性塊(122)的外壁磁性相斥，所述第一磁性套(126)與第二磁性套(127)磁性相吸。

2.根據權利要求1所述的一種柔性AMOLED掩模版表面鍍膜設備，其特征在于：所述除塵裝置(13)包括除塵箱(131)，所述除塵箱(131)的底部外壁與蒸鍍腔室(1)的頂部外壁固定連接，所述除塵箱(131)的底部外壁固定連接有除塵管(132)，所述除塵管(132)的兩側外壁均活動連接有連接管(133)。

3.根據權利要求1所述的一種柔性AMOLED掩模版表面鍍膜設備，其特征在于：所述第一磁性塊(121)的頂部外壁與支撐箱(9)的內壁頂部固定連接，所述第二磁性塊(122)的底部外壁與按壓板(11)的頂部外壁固定連接。

4.根據權利要求1所述的一種柔性AMOLED掩模版表面鍍膜設備，其特征在于：所述第二磁性塊(122)的兩側外壁均開設有與第一活動桿(124)和第二活動桿(125)相適配的活動孔(128)。

5.根據權利要求2所述的一種柔性AMOLED掩模版表面鍍膜設備，其特征在于：所述連接管(133)遠離除塵管(132)的一端固定連接有風筒(134)，所述風筒(134)的外壁開設有出風口。

6.根據權利要求2所述的一種柔性AMOLED掩模版表面鍍膜設備，其特征在于：所述除塵管(132)的兩側外壁均固定連接有伸縮推桿(135)，所述伸縮推桿(135)遠離除塵管(132)的一端與連接管(133)的外壁活動連接。

7.根據權利要求1所述的一種柔性AMOLED掩模版表面鍍膜設備，其特征在于：所述蒸鍍腔室(1)的內壁開設有滑槽，所述滑動塊(3)的底部外壁通過滑槽與蒸鍍腔室(1)的底部內壁滑動連接。