[發明專利]高精度棱鏡粘接裝置和加工方法

在審

• 申請號: 202011641546.7
• 申請日: 2020-12-31
• 公開（公告）號: CN112692679A
• 公開（公告）日: 2021-04-23
• 發明（設計）人: 鄧祥興;應常建;王萌;王興華;羅志剛;李嬌;張鐵輝;劉文福
• 申請（專利權）人: 昆明云鍺高新技術有限公司
• 主分類號: B24B13/00
• 分類號: B24B13/00;B24B13/01;B24B49/12
• 代理公司: 昆明祥和知識產權代理有限公司 53114
• 代理人: 董昆生

1.一種高精度棱鏡粘接裝置，其特征在于，包括工裝和光膠板，工裝的底部設置有光膠板，遠離光膠板的一端和拋光機相連接，所述工裝由圓形連接模和實體部粘結而成，所述實體部由一方形基塊和對光塊粘結而成，實體部的側面粘結有棱鏡，且棱鏡的加工面與實體部的底表面平行，所述棱鏡為透可見光棱鏡，對光塊的材質與棱鏡相同。

2.根據權利要求1所述的一種高精度棱鏡粘接裝置，其特征在于，所述連接模和實體部居中粘結，連接部分中心偏移量不超過0.02mm。

3.根據權利要求1所述的一種高精度棱鏡粘接裝置，其特征在于，所述實體部和棱鏡加工面的垂直度＜10″。

4.根據權利要求1所述的一種高精度棱鏡粘接裝置，其特征在于，所述光膠板，其面型精度ΔN=0.2 fr，光圈N=+1 fr，直徑φ＞350mm，厚度D＞30mm。

5.根據權利要求1-4所述的任意一種高精度棱鏡粘接裝置，其特征在于，所述基塊為膨脹系數小于3.3×10-6/K、邊長加2倍棱鏡厚度小于對角線120%、徑厚比大于1∶10的正方體基材，其平行度修正小于0.002mm，垂直度小于15″，面輪廓度小于0.002mm。

6.根據權利要求5所述的一種高精度棱鏡粘接裝置，其特征在于，所述光膠板為直徑大于基塊1.5倍對角線、膨脹系數小于3.3×10-6/K、徑厚比大于1∶10的玻璃材質并雙面拋光。

7.根據權利要求6所述的一種高精度棱鏡粘接裝置，其特征在于，所述連接模膨脹系數小于3.3×10-6/K、直徑小于基塊的邊長。

8.根據權利要求7所述的一種高精度棱鏡粘接裝置，其特征在于，所述對光塊邊長小于基塊邊長1mm、直徑為5～10mm，對光塊面與基塊面平行差小于0.002mm并拋光，面型精度ΔN＜0.5fr。

9.根據權利要求8所述的一種高精度棱鏡粘接裝置，其特征在于，所述棱鏡為ZnSe棱鏡，所述對光塊的材質為ZnSe。

10.一種高精度棱鏡的加工方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1：取粗略加工過的棱鏡毛料，先研磨加工出兩個側面，要求ΔN＜1fr、垂直度小于15″，第一平行差θ1＜2″；

S2：將工裝、光膠板完全擦拭干凈，將光膠板水平放置于操作臺上，上表面為基準面，工裝的底表面與基準面相互貼合，并排出空氣至干涉條紋為凈色或無色；

S3：把棱鏡擦干凈，并置于工裝實體部一個側面的中間部位，棱鏡待加工的面和工裝底面完全平齊，偏移量為±0.5mm；

S4：形成一加工平面后在光膠板上將棱鏡和工裝進行粘接，膠合時觀察棱鏡和光膠板之間的干涉條紋狀態，保證棱鏡待加工面與基準面的平行；

S5：將粘結有零件的工裝從光膠板上取下，安裝到拋光機上進行拋光加工；

S6：加工過程中，把粘結好棱鏡的工裝置于平面X射線干涉儀下觀測干涉條紋，通過干涉條紋的狀態實時監測棱鏡面型精度ΔN和第二平行差。