[發(fā)明專利]一種電源芯片制造用涂膜設(shè)備及電源芯片制造工藝

有效

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• 申請日: 2020-12-31
• 公開（公告）號: CN112847540B
• 公開（公告）日: 2022-09-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳凡;吳紅衛(wèi)
• 申請（專利權(quán)）人: 江西銳凱科技有限公司
• 主分類號: B26D1/43
• 分類號: B26D1/43;B26D7/02;B26D7/00
• 代理公司: 深圳市中科創(chuàng)為專利代理有限公司 44384
• 代理人: 尹益群

本發(fā)明涉及芯片涂膜裝置技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種電源芯片制造用涂膜設(shè)備及電源芯片制造工藝，將待涂膜硅晶片推至合適位置處后，通過多個(gè)對準(zhǔn)攝像頭等的設(shè)置，避免硅晶片位置偏差影響裁切效果，裁切光阻膜之前，通過壓緊氣缸等的設(shè)置，實(shí)現(xiàn)了避免在接下來裁切刀裁切光阻膜時(shí)將硅晶片上的光阻膜意外勾起，確保了涂膜結(jié)束后裁切過程的正常進(jìn)行，通過壓緊滑球等的設(shè)置，防止在裁切時(shí)裁切刀勾起硅晶片周圍多余的光阻膜，繼而造成光阻膜浪費(fèi)，通過撫平軸等的設(shè)置，使得撫平輥與硅晶片上的光阻膜“咬合”貼緊，從而將硅晶片上光阻膜內(nèi)的少許氣泡擠出，降低了電源芯片的不合格率，確保硅晶片后續(xù)加工工序的正常進(jìn)行。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及芯片涂膜裝置技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種電源芯片制造用涂膜設(shè)備及電源芯片制造工藝。

背景技術(shù)

電源芯片是指開關(guān)電源的脈寬控制集成，電源靠它來調(diào)整輸出電壓電流的穩(wěn)定，日常生活中的各種電子設(shè)備大多都需要用到電源芯片，如電視機(jī)、電冰箱等，隨著電源芯片的功能整合得越來越多，其在電子設(shè)備系統(tǒng)中的作用也越來越重要，電源芯片的性能品質(zhì)等對電子設(shè)備整體有著直接影響，電源芯片制造過程中包括涂膜步驟，晶圓涂膜能抵抗氧化以及提高耐溫能力。

現(xiàn)有技術(shù)中，對電源芯片進(jìn)行涂膜時(shí)缺少對應(yīng)的壓緊機(jī)構(gòu)，無法確保光阻膜能夠緊密與硅晶片貼合，繼而使得涂膜完成后裁切刀裁切時(shí)光阻膜容易被裁切刀勾起，從而影響裁切刀將多余的光阻膜裁切掉，另一方面，涂膜結(jié)束后硅晶片與光阻膜之間可能存在少許氣泡，需要相應(yīng)的撫平機(jī)構(gòu)將氣泡擠壓出，因此，我們公開了一種電源芯片制造用涂膜設(shè)備來滿足涂膜需求。

發(fā)明內(nèi)容

(一)解決的技術(shù)問題

針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種電源芯片制造用涂膜設(shè)備，具備壓緊裁切等優(yōu)點(diǎn)，解決了裁切破壞光阻膜等問題。

(二)技術(shù)方案

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種電源芯片制造用涂膜設(shè)備，包括操作臺，所述操作臺的頂部開設(shè)有兩個(gè)位置相對應(yīng)的導(dǎo)向滑槽，所述操作臺的頂部設(shè)有滑動板，所述滑動板的底部固定連接有兩個(gè)矩形導(dǎo)向塊，兩個(gè)所述矩形導(dǎo)向塊分別位于兩個(gè)所述導(dǎo)向滑槽內(nèi)并分別與兩個(gè)所述導(dǎo)向滑槽相適配，所述滑動板的頂部固定連接有限位圈，所述滑動板的頂部設(shè)有載物板，所述載物板與所述限位圈相適配并位于所述限位圈內(nèi)，所述操作臺的頂部固定連接有兩個(gè)位置相對應(yīng)的垂直支撐桿，兩個(gè)所述垂直支撐桿相互靠近的一側(cè)均固定連接有同一個(gè)涂膜機(jī)，所述涂膜機(jī)的底部開設(shè)有環(huán)形放置槽，所述環(huán)形放置槽內(nèi)固定套接有圓周驅(qū)動殼體，所述圓周驅(qū)動殼體的底部開設(shè)有穿孔，所述穿孔內(nèi)轉(zhuǎn)動套接有旋轉(zhuǎn)軸，所述旋轉(zhuǎn)軸的兩端均貫穿所述穿孔并分別延伸至所述穿孔的一側(cè)外與圓周驅(qū)動殼體內(nèi)，所述旋轉(zhuǎn)軸延伸至所述圓周驅(qū)動殼體內(nèi)的一端固定連接在涂膜機(jī)的圓周驅(qū)動部件上。

優(yōu)選的，所述旋轉(zhuǎn)軸的底端固定連接有旋轉(zhuǎn)托盤，所述旋轉(zhuǎn)托盤的外壁固定套接有攝像固定環(huán)，所述攝像固定環(huán)的底部開設(shè)有環(huán)形安裝槽，所述環(huán)形安裝槽的內(nèi)壁上固定連接有多個(gè)呈圓周排列且分布均勻的對準(zhǔn)攝像頭，所述旋轉(zhuǎn)托盤的頂側(cè)固定連接有位置處理器，所述攝像固定環(huán)上固定連接有位置傳導(dǎo)線，所述位置傳導(dǎo)線的另一端固定連接在所述位置處理器上，所述圓周驅(qū)動殼體的底側(cè)固定連接有驅(qū)動信號接收器，所述位置處理器上固定連接有驅(qū)動傳導(dǎo)線，所述驅(qū)動傳導(dǎo)線的另一端固定連接在所述驅(qū)動信號接收器上。

優(yōu)選的，所述多個(gè)呈圓周排列且分布均勻的對準(zhǔn)攝像頭通過所述位置傳導(dǎo)線及所述驅(qū)動傳導(dǎo)線的連接，與所述位置處理器及所述圓周驅(qū)動殼體內(nèi)的圓周驅(qū)動部件之間電性連接，所述旋轉(zhuǎn)托盤的底部固定連接有壓緊氣缸，所述壓緊氣缸的底部固定連接有壓緊伸縮桿，所述壓緊伸縮桿的底端固定連接有壓緊盤，所述壓緊盤的底部固定連接有壓力數(shù)據(jù)載板。

優(yōu)選的，所述壓力數(shù)據(jù)載板的底部固定連接有多個(gè)呈圓周排列且分布均勻的壓力傳感器，所述多個(gè)呈圓周排列且分布均勻的壓力傳感器的底部均固定連接有同一個(gè)橡膠圈，所述載物板的頂部設(shè)有待涂膜硅晶片，所述多個(gè)呈圓周排列且分布均勻的對準(zhǔn)攝像頭的位置與所述待涂膜硅晶片的位置相對應(yīng)，所述壓力數(shù)據(jù)載板的頂部固定連接有壓力處理器。