[發明專利]一種制備高性能鐵磁性靶材的方法有效
| 申請號： | 202011640847.8 | 申請日： | 2020-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN112808833B | 公開（公告）日： | 2023-01-10 |
| 發明（設計）人： | 羅俊鋒;張巧霞;徐國進;張博厚;李勇軍;龐欣;熊曉東;馮昭偉;滕海濤 | 申請（專利權）人： | 有研科技集團有限公司 |
| 主分類號： | B21D22/14 | 分類號： | B21D22/14;C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京眾合誠成知識產權代理有限公司 11246 | 代理人： | 陳波 |
| 地址： | 100088*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 制備 性能 鐵磁性 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種制備高性能鐵磁性靶材的方法，其特征在于，包括將鐵磁性靶坯通過旋壓使靶坯均勻變形的步驟；旋壓前，鐵磁性靶坯通過將高純鐵磁性金屬鑄錠進行鍛造、軋制、再結晶熱處理得到板坯，對所得板坯機加工為圓形靶坯制得；
所述鐵磁性靶坯的初始厚度3-5mm；
所述旋壓為以圓形鐵磁性靶坯圓心為中心點進行旋壓；
所述旋壓用模具底部設置永磁鐵；
所述旋壓總的壓下變形量為5％-30％，壓下道次變形量5％-15％；
旋壓主軸轉速300-2000轉/分鐘，旋輪進給速度50-300米/分鐘；
旋壓后靶坯形狀為平面型、球面型或異型；相比所述板坯，所得鐵磁性靶材透磁率增加20％以上，圓周方向透磁率波動≤1％；
所述鐵磁性靶坯材質為高純Co、Ni、Co-Fe、Ni-Fe或Pt≤30wt％的Ni-Pt合金。
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，旋壓后，對所得靶坯進行焊接、機加工，得到鐵磁性靶材。
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