[發(fā)明專利]應(yīng)用于MEMS慣性器件的相位調(diào)節(jié)裝置及方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202011639780.6 | 申請(qǐng)日： | 2020-12-31 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN112815938B | 公開（公告）日： | 2022-10-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 任臣;楊擁軍 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十三研究所 |
| 主分類號(hào)： | G01C21/16 | 分類號(hào)： | G01C21/16;H03L7/093 |
| 代理公司： | 石家莊國(guó)為知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 13120 | 代理人： | 秦敏華 |
| 地址： | 050051 *** | 國(guó)省代碼： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 應(yīng)用于 mems 慣性 器件 相位 調(diào)節(jié) 裝置 方法 | ||
1.一種應(yīng)用于MEMS慣性器件的相位調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，包括：波形轉(zhuǎn)換模塊、數(shù)字量轉(zhuǎn)換模塊和濾波器相移模塊；
所述波形轉(zhuǎn)換模塊的輸入端用于與MEMS慣性器件諧振器的輸出端連接，所述波形轉(zhuǎn)換模塊的輸出端與所述數(shù)字量轉(zhuǎn)換模塊的輸入端連接，所述波形轉(zhuǎn)換模塊用于將MEMS慣性器件諧振器輸出的諧振信號(hào)轉(zhuǎn)換為方波信號(hào)；
所述數(shù)字量轉(zhuǎn)換模塊的輸出端與所述濾波器相移模塊的輸入端連接，所述數(shù)字量轉(zhuǎn)換模塊用于根據(jù)所述方波信號(hào)，輸出正比于所述諧振信號(hào)的周期的數(shù)字量；
所述濾波器相移模塊的輸入端還用于與所述MEMS慣性器件諧振器的輸出端連接，所述濾波器相移模塊的輸出端輸出濾波信號(hào)，所述濾波器相移模塊用于根據(jù)所述數(shù)字量調(diào)節(jié)所述濾波器相移模塊的中心頻率，使調(diào)節(jié)后的濾波器相移模塊的中心頻率等于所述諧振信號(hào)的頻率，并根據(jù)調(diào)節(jié)后的濾波器相移模塊對(duì)所述諧振信號(hào)進(jìn)行濾波，使所述濾波信號(hào)的相位保持恒定。
2.如權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于MEMS慣性器件的相位調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述波形轉(zhuǎn)換模塊包括比較單元和緩沖單元；
所述比較單元的第一輸入端用于輸入所述MEMS慣性器件諧振器輸出的諧振信號(hào)，所述比較單元的第二輸入端接地，所述比較單元的輸出端與所述緩沖單元的輸入端連接，所述緩沖單元的輸出端輸出方波信號(hào)。
3.如權(quán)利要求2所述的應(yīng)用于MEMS慣性器件的相位調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述比較單元為遲滯比較器，所述緩沖單元為緩沖器。
4.如權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的應(yīng)用于MEMS慣性器件的相位調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述數(shù)字量轉(zhuǎn)換模塊包括電流源、開關(guān)管S1、開關(guān)管S2、可配置電阻陣列、比較器、累加器、可配置電容陣列；
所述電流源分別與所述開關(guān)管S1的漏極和所述開關(guān)管S2的漏極連接，所述開關(guān)管S1的柵極和所述開關(guān)管S2的柵極分別用于輸入所述方波信號(hào)，所述開關(guān)管S1的源極分別與所述可配置電容陣列的一端和所述比較器的同相輸入端連接，所述開關(guān)管S2的源極分別與所述可配置電阻陣列的一端和所述比較器的反相輸入端連接；
所述比較器的輸出端與所述累加器的輸入端連接；
所述累加器的輸出端與所述可配置電容陣列的另一端連接，且所述累加器的輸出端作為所述數(shù)字量轉(zhuǎn)換模塊的輸出端；
所述可配置電阻陣列的另一端接地，所述可配置電阻陣列的配置端用于輸入配置信號(hào)。
5.如權(quán)利要求4所述的應(yīng)用于MEMS慣性器件的相位調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述可配置電容陣列包括電容陣列和開關(guān)管陣列；
所述電容陣列的一端均與所述開關(guān)管S1的源極連接，所述電容陣列的另一端分別與所述開關(guān)管陣列中的對(duì)應(yīng)漏極連接；
所述開關(guān)管陣列中的源極均接地，所述開關(guān)管陣列中的柵極均與所述累加器的輸出端連接。
6.如權(quán)利要求5所述的應(yīng)用于MEMS慣性器件的相位調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述濾波器相移模塊包括第一電阻陣列、第二電阻陣列、第三電阻陣列、第一電容陣列、第二電容陣列和運(yùn)算放大器；
所述第一電阻陣列的一端用于輸入所述諧振信號(hào)，所述第一電阻陣列的另一端分別與所述第一電容陣列的一端和所述第二電容陣列的一端連接；
所述第一電容陣列的另一端接地；
所述第二電容陣列的另一端分別與所述第二電阻陣列的一端、所述第三電阻陣列的一端和所述運(yùn)算放大器的第一輸入端連接；
所述第二電阻陣列的一端還與所述第三電阻陣列的一端連接，所述第二電阻陣列的另一端與所述運(yùn)算放大器的輸出端連接；
所述第三電阻陣列的另一端接地；
所述第一電容陣列的配置端和所述第二電容陣列的配置端均用于輸入所述配置信號(hào)；
所述第一電阻陣列的控制端、所述第二電阻陣列的控制端和所述第三電阻陣列的控制端均與所述數(shù)字量轉(zhuǎn)換模塊的輸出端連接。
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