[發明專利]一種掃描電鏡冷凍樣品臺在審
| 申請號： | 202011639710.0 | 申請日： | 2020-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN112630247A | 公開（公告）日： | 2021-04-09 |
| 發明（設計）人： | 廖洪鋼;蘭李根 | 申請（專利權）人： | 廈門超新芯科技有限公司 |
| 主分類號： | G01N23/2251 | 分類號： | G01N23/2251;G01N23/2204;H01J37/20;H01J37/28 |
| 代理公司： | 廈門市精誠新創知識產權代理有限公司 35218 | 代理人： | 何家富 |
| 地址： | 361000 福建省廈門*** | 國省代碼： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 掃描電鏡 冷凍 樣品 | ||
1.一種掃描電鏡冷凍樣品臺，其特征在于：包括水冷臺、半導體制冷片和樣品載臺，所述半導體制冷片設置于所述水冷臺上，所述半導體制冷片的散熱面和所述水冷臺表面貼合；所述樣品載臺設置于所述半導體制冷片上，所述樣品載臺的底面和所述半導體制冷片的致冷面貼合。
2.如權利要求1所述的掃描電鏡冷凍樣品臺，其特征在于：所述樣品載臺的底面和所述半導體制冷片的致冷面之間設置有溫度傳感器，所述溫度傳感器和所述樣品載臺的底面貼合。
3.如權利要求1所述的掃描電鏡冷凍樣品臺，其特征在于：所述半導體制冷片為多層結構，所述半導體制冷片和所述水冷臺貼合的底層面積最大，然后向上逐級減小，所述半導體制冷片的頂層和所述樣品載臺的尺寸相當；所述半導體制冷片的層間，下一層的致冷面和上一層的散熱面貼合。
4.如權利要求1所述的掃描電鏡冷凍樣品臺，其特征在于：所述水冷臺為采用乙二醇為水冷介質的水冷臺。
5.如權利要求1所述的掃描電鏡冷凍樣品臺，其特征在于：所述冷凍樣品臺還包括水冷臺座，所述水冷臺的底面和側面被包裹在所述水冷臺座內，所述水冷臺座內設置有保溫材料。
6.如權利要求1所述的掃描電鏡冷凍樣品臺，其特征在于：所述冷凍樣品臺還包括殼體，所述半導體制冷片、水冷臺、水冷臺座設置于所述殼體內，所述樣品載臺設置于所述殼體的面板上。
7.如權利要求6所述的掃描電鏡冷凍樣品臺，其特征在于：所述冷凍樣品臺還設置有航空插頭，所述航空插頭設置于所述殼體的側邊，用于提供半導體制冷片的供電連接。
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