[發明專利]一種高性能燒結釹鐵硼的制備方法在審
| 申請號： | 202011638801.2 | 申請日： | 2020-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN112820529A | 公開（公告）日： | 2021-05-18 |
| 發明（設計）人： | 胡小杰;吳小潔;張洪偉;倪浩瀚;曲喜嘉 | 申請（專利權）人： | 寧波松科磁材有限公司 |
| 主分類號： | H01F41/02 | 分類號： | H01F41/02;H01F41/18;H01F1/057 |
| 代理公司： | 杭州裕陽聯合專利代理有限公司 33289 | 代理人： | 金方瑋 |
| 地址： | 315568 浙江省寧波市*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 性能 燒結 釹鐵硼 制備 方法 | ||
1.一種高性能燒結釹鐵硼的制備方法，其特征在于，所述方法包括如下步驟：
一：制備低熔點合金靶材；
二：在重稀土的金屬單質濺射靶材之間，加入一塊或多塊低熔點合金靶材；
三：使用不同厚度燒結釹鐵硼工件，采用恒電流模式進行雙面鍍膜；
四：當釹鐵硼工件穿越靶材濺射區時，在已經附著于工件表面的重稀土金屬膜上通過磁控濺射形成一層低熔點合金膜；
五：之后繼續濺射重稀土金屬膜，形成多層多種金屬膜結構或多種固溶體金屬膜結構；
六：將鍍膜好的工件進行高溫若干小時熱處理，然后低溫處理后制得。
2.根據權利要求1所述的一種高性能燒結釹鐵硼的制備方法，其特征在于，步驟一中低熔點合金靶材通過Cu、Al按照Cu70Al30的原子比例制備CuAl合金靶材，濺射后在工件表面形成多層多種金屬膜結構。
3.根據權利要求1所述的一種高性能燒結釹鐵硼的制備方法，其特征在于，步驟一中低熔點合金靶材通過Tb、Cu、Al按照Tb70與CuAl30的原子比例制備Tb-Cu-Al合金靶材，濺射后在工件表面形成多種固溶體金屬膜結構。
4.根據權利要求1所述的一種高性能燒結釹鐵硼的制備方法，其特征在于，步驟六中高溫處理的溫度為720-880℃。
5.根據權利要求1所述的一種高性能燒結釹鐵硼的制備方法，其特征在于，步驟六中高溫處理的時間為6-10小時。
6.根據權利要求1所述的一種高性能燒結釹鐵硼的制備方法，其特征在于，步驟六中低溫處理的溫度為400-480℃。
7.根據權利要求1所述的一種高性能燒結釹鐵硼的制備方法，其特征在于，步驟六中低溫處理的時間為3-6小時。
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