[發明專利]一種金屬掩膜版排風干燥設備

在審

• 申請號: 202011638570.5
• 申請日: 2020-12-31
• 公開（公告）號: CN112781333A
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發明（設計）人: 錢超;余洋;黃斌;植啟東
• 申請（專利權）人: 南京深光科技有限公司
• 主分類號: F26B11/00
• 分類號: F26B11/00;F26B21/00;F26B21/06;F26B25/02;F26B25/12;F26B25/10;B60B33/00
• 代理公司: 濟南鼎信專利商標代理事務所(普通合伙) 37245
• 代理人: 梁國海

本發明公開了一種金屬掩膜版排風干燥設備，包括基礎底座，基礎底座的頂部固定安裝有固定外殼，固定外殼的內部兩側均開設有滑動凹槽，滑動凹槽的內部活動安裝有滑動塊，滑動塊的一端固定安裝有熱風分配箱，熱風分配箱的底部固定安裝有第一轉動軸，第一轉動軸的底部固定安裝有連接箱，連接箱的一端連通有排氣管，固定外殼的內部固定安裝有伸縮桿件。通過設置相關的第二轉動軸、連接框架、第一通孔、第二通孔、復位彈性件以及壓板等相關元件，從而使得在進行相關的干燥操作時，可以對金屬掩膜版進行實時翻轉操作，從而使得整體在進行相關的干燥操作時，其整體的受熱更加均勻，同時也提高了整體的干燥效率。

技術領域

本發明屬于掩膜版加工技術領域，具體涉及一種金屬掩膜版排風干燥設備。

背景技術

在電子產品制作過程中需要將特定的圖案轉移到基板上，這種用來轉移圖形的裝置稱為掩膜版。通常將掩膜版分為光掩膜版和金屬掩膜版兩大類，光掩膜版主要用于光刻工藝，整個光刻過程包括表面處理、旋涂、前烘、曝光、后烘、顯影、刻蝕等步驟，因此，利用光掩膜版雖然可以獲得較高的圖案精度，但是存在設備造價昂貴、工藝過程繁瑣和容易引入雜質離子等問題。

對于目前相關的金屬掩膜版排風干燥設備，在對于其進行干燥處理時，其金屬掩膜版整體位置不可進行相關的調節操作，通常需要人工對其進行翻轉操作，從而影響整體的干燥效率，此外對于相關的干燥設備也不可進行相關的移動操作，從而使得整體的干燥面積較為單一，從而也影響整體的干燥效率。

發明內容

針對現有技術存在的不足，本發明目的是提供一種金屬掩膜版排風干燥設備，解決了金屬掩膜版整體位置不可進行相關的調節操作以及干燥面積較為單一的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種金屬掩膜版排風干燥設備，包括基礎底座，所述基礎底座的頂部固定安裝有固定外殼，所述固定外殼的內部兩側均開設有滑動凹槽，所述滑動凹槽的內部活動安裝有滑動塊，所述滑動塊的一端固定安裝有熱風分配箱，所述熱風分配箱的底部固定安裝有第一轉動軸，所述第一轉動軸的底部固定安裝有連接箱，所述連接箱的一端連通有排氣管，所述固定外殼的內部固定安裝有伸縮桿件，所述伸縮桿件的頂部一側固定安裝有驅動電機，所述伸縮桿件的另一側活動安裝有第二轉動軸。

優選的，所述第二轉動軸的端部固定安裝有連接框架，所述連接框架的內部開設有第一通孔，所述連接框架的正面開設有固定卡槽。

優選的，所述連接框架的一側活動安裝有連接板件，所述連接板件的頂部固定安裝有復位彈性件

優選的，所述復位彈性件的頂部固定安裝有壓板，所述壓板的正面開設有第二通孔，且第二通孔貫穿連接板件。

優選的，所述滑動凹槽的規格尺寸與滑動塊的規格尺寸相適配。

優選的，所述熱風分配箱的頂部連通有伸縮軟管。

優選的，所述固定外殼的頂部固定安裝有排風器，所述排風器的兩側均開設有排風孔，所述固定外殼的正面固定安裝有操作面板。

優選的，所述基礎底座的底部固定安裝有移動裝置，所述基礎底座的底部固定安裝有伸縮支撐柱。

與現有技術相比，本發明的有益效果是：

1、通過設置相關的第二轉動軸、連接框架、第一通孔、第二通孔、復位彈性件以及壓板等相關元件，從而使得在進行相關的干燥操作時，可以對金屬掩膜版進行實時翻轉操作，從而使得整體在進行相關的干燥操作時，其整體的受熱更加均勻，同時也提高了整體的干燥效率。

2、通過設置相關的滑動凹槽、滑動塊、熱風分配箱、第一轉動軸以及多個排氣管，從而可以對金屬掩膜版干燥的位置進行實時調節操作，從而使得在進行相關的干燥操作時，更加高效同時也更加全面，對于該設備設置相關的移動裝置，從而使得設備整體的移動操作更加便捷。

附圖說明