[發明專利]一種支持log文件配置的測試系統

在審

• 申請號: 202011638426.1
• 申請日: 2020-12-31
• 公開（公告）號: CN112834907A
• 公開（公告）日: 2021-05-25
• 發明（設計）人: 李成霞;毛俊;楊文浩
• 申請（專利權）人: 杭州廣立微電子股份有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G06F9/445;G06F11/36
• 代理公司: 江蘇坤象律師事務所 32393
• 代理人: 趙新民

本發明提供了一種支持log文件配置的測試系統，包括：工作站、測試機臺和探針臺；所述工作站、測試機臺和探針臺依次通信連接，并進行信號傳輸；所述工作站包括存儲器和處理器；所述存儲器存儲有測試程序，所述測試程序支持log文件配置；所述log文件包括測試過程相關log文件、測試狀態相關log文件和檢查結果相關log文件，可以展示測試過程、測試狀態、異常問題等信息，記錄不易流失，記錄內容完整，有利于提高測試信息記錄效果與解決問題的效率。

技術領域

本發明屬于半導體測試技術領域，具體涉及一種支持log文件配置的測試系統。

背景技術

集成電路的制作工序非常復雜，成本也非常高，因此，作為發現研究、發現成品率的重要手段，集成電路測試占據著不可或缺的地位。目前先進的集成電路設計和制造能力為實現更多的功能和性能空前強大的芯片提供了巨大的支撐，同時，高集成度、高速度的設計也給集成電路測試和成品率帶來了非常嚴峻的挑戰。市場需要的是低成本、高性能和能夠快速上市的產品，測試程序設計人員如果不能快速有效地完成測試程序，會成為量產出貨環節的瓶頸，推遲產品上市時間，造成很大的經濟損失。這些都說明在集成電路從研發到生產上市的整個流程中，測試再也不能作為最后考慮的環節了，為了控制不斷增長的測試復雜度，測試設計者必須在集成電路的開發過程早期就考慮到測試的需求以滿足日益發展的集成電路產業要求。

在集成電路晶圓成品率測試過程中，會對不同的晶圓進行多項電學性能測試，不同廠家生產的晶圓、所使用的探針卡都不盡相同，在測試過程會進行數量繁多的記錄，以防在測試過程中出現問題。為了防止測試過程中問題、相關信息記錄的丟失，需要對多種文件信息進行收集，避免造成工作人員工作量的增加與產品研發、上市進程的影響。但是現在技術中測試過程中不能做的文件記錄足夠完整、測試過程記錄丟失的風險較高。

發明內容

本發明是基于上述現有技術的全部或部分問題而進行的，目的在于提供一種支持log文件配置的測試系統，能根據實際情況增加測試過程的信息記錄量，避免記錄缺失。

本發明提供的一種支持log文件配置的測試系統，包括：工作站、測試機臺和探針臺；所述工作站、測試機臺和探針臺依次通信連接，并進行信號傳輸；所述探針臺上設置有探針卡和晶圓盒，所述晶圓盒中放置待測晶圓，所述探針卡與待測晶圓連接；所述工作站包括存儲器和處理器；所述存儲器存儲有測試程序，所述測試程序支持log文件配置；所述測試程序被所述處理器運行，按配置生成多個log文件；所述log文件包括測試過程相關log文件、測試狀態相關log文件和檢查結果相關log文件的一種或多種組合。

在一個具體的實施情況里，所述測試過程相關log文件包括EAP test flow log，記錄內容包括測試時間（年月日時分秒）、EAP軟件完成的操作和GEM通信指令，用于實時展示EAP模式下的整個測試流程，記錄GEM的通信過程。EAP test flow log的記錄內容可以幫助用戶理解GEM通信的控制流程以及幫助供應商在流程出現問題時定位問題。

在一個可行的實施方案中，所述測試過程相關log文件包括GEM log，記錄內容包括所有指令名稱與指令的內容，用于實時展示測試過程中所有通信端的GEM指令收發過程。

其中較好的，所述GEM log包括host log和prober log，Host log用于記錄EAP和測試機臺間的收發指令的名稱與內容，Prober log用于記錄測試機臺和探針臺間的收發指令的名稱與內容。

在另一個可行的實施方案中，所述測試過程相關log文件包括GPIB log，記錄內容包括時間及發送的指令內容、接收的指令內容，用于實時展示測試過程中所有的GPIB指令的收發過程。此GPIB log的記錄內容可以幫助用戶理解測試機和prober之間的GPIB通信過程，也可以幫助供應商在測試出現問題時定位問題。