[發明專利]一種自校準光學微振動檢測方法有效
| 申請號： | 202011638199.2 | 申請日： | 2020-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN112816055B | 公開（公告）日： | 2021-09-03 |
| 發明（設計）人： | 張萌穎;趙全亮;何廣平;蘇婷婷;趙磊;梁旭 | 申請（專利權）人： | 北方工業大學 |
| 主分類號： | G01H9/00 | 分類號： | G01H9/00;G01H17/00;G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京高沃律師事務所 11569 | 代理人： | 王愛濤 |
| 地址： | 100144 北京市*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 校準 光學 振動 檢測 方法 | ||
1.一種自校準光學微振動檢測方法，其特征在于，所述方法包括：
獲取光柵干涉結構t時刻輸出的第0衍射級處干涉光強信號和任一奇數衍射級處干涉光強信號；
根據所述第0衍射級處干涉光強信號得到第一電壓信號，根據所述任一奇數衍射級處干涉光強信號得到第二電壓信號；
根據飽和幅值比例系數對所述第一電壓信號和第二電壓信號進行加權平均，得到加權平均電壓信號；
根據所述加權平均電壓信號計算補償后的第一電壓信號和補償后的第二電壓信號；
根據所述補償后的第一電壓信號和補償后的第二電壓信號得到一組正交電壓信號；
對所述正交電壓信號進行解調運算得到待測振動位移。
2.根據權利要求1所述的自校準光學微振動檢測方法，其特征在于，采用公式計算所述加權平均電壓信號 ，其中，Va(t)為加權平均電壓信號，V0(t)為第一電壓信號，V1(t)為第二電壓信號，α為飽和幅值比例系數。
3.根據權利要求1所述的自校準光學微振動檢測方法，其特征在于，采用公式計算所述補償后的第一電壓信號，其中，V0,c(t)為補償后的第一電壓信號，V0(t)為第一電壓信號，Va(t)為加權平均電壓信號。
4.根據權利要求1所述的自校準光學微振動檢測方法，其特征在于，采用公式計算所述補償后的第二電壓信號，其中，V1,c(t)為補償后的第二電壓信號，α為飽和幅值比例系數，V1(t)為第二電壓信號，Va(t)為加權平均電壓信號。
5.根據權利要求1所述的自校準光學微振動檢測方法，其特征在于，采用公式和計算所述正交電壓信號，其中，V0,q(t)為第一正交電壓信號，V1,q(t)為第二正交電壓信號，所述第一正交電壓信號和第二正交電壓信號正交，V0,c(t)為補償后的第一電壓信號，V1,c(t)為補償后的第二電壓信號。
6.根據權利要求1所述的自校準光學微振動檢測方法，其特征在于，采用公式和計算待測振動位移，其中，Δd(t)為待測振動位移，λ為入射光的波長，Vd(t)為第一正交電壓信號和第二正交電壓信號交叉相乘所得電壓信號，V0,q(t)為第一正交電壓信號，V1,q(t)為第二正交電壓信號。
7.根據權利要求1所述的自校準光學微振動檢測方法，其特征在于，采用公式計算所述飽和幅值比例系數，其中，Vpp,0為第一電壓信號飽和峰峰值，Vpp,1為第二電壓信號飽和峰峰值。
8.根據權利要求7所述的自校準光學微振動檢測方法，其特征在于，對光柵干涉檢測裝置進行滿量程預測試，其第一電壓信號滿量程峰峰值為所述第一電壓信號飽和峰峰值，其第二電壓信號滿量程峰峰值為所述第二電壓信號飽和峰峰值。
9.根據權利要求1所述的自校準光學微振動檢測方法，其特征在于，利用光電檢測模塊獲取所述第0衍射級處干涉光強信號得到第一電壓信號，獲取所述任一奇數衍射級處干涉光強信號得到第二電壓信號。
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