[發明專利]螺旋混合波導

有效

• 申請號: 202011635753.1
• 申請日: 2020-12-31
• 公開（公告）號: CN113156582B
• 公開（公告）日: 2022-12-16
• 發明（設計）人: 張芮聞;林炳焜;王鵬飛;周硯揚;何立平;劉乘源;章宇兵
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司電子科學研究院
• 主分類號: G02B6/125
• 分類號: G02B6/125;G02F1/125
• 代理公司: 工業和信息化部電子專利中心 11010
• 代理人: 羅丹

1.一種螺旋混合波導，其特征在于，包括：

襯底；

直彎型諧振波導支架，設于所述襯底；

直彎型諧振波導，設于所述直彎型諧振波導支架，所述直彎型諧振波導包括中間段波導、外部連接波導、以及中心連接波導，所述中間段波導從其一端開始螺旋盤繞形成環形，所述中心連接波導位于環形內且與所述中間段波導的一端連接，所述外部連接波導位于環形外且與所述中間段波導的另一端連接；

耦合波導支架，設于所述襯底且與所述直彎型諧振波導支架間隔開；

耦合波導，設于所述耦合波導支架且與部分所述直彎型諧振波導耦合；

所述螺旋混合波導還包括聲光子晶體波導組件，所述聲光子晶體波導組件與所述外部連接波導連接；

所述聲光子晶體波導組件包括：

第一聲光子晶體波導，與所述外部連接波導連接；

第二聲光子晶體波導，與所述外部連接波導連接，所述第二聲光子晶體波導與所述第一聲光子晶體波導分別位于所述外部連接波導的兩側；

所述第一聲光子晶體波導遠離所述外部連接波導的一側以及所述第二聲光子晶體波導遠離所述外部連接波導的一側均設有多個半圓形缺口，所述半圓形缺口的半徑為0.1微米～1.2微米，相鄰兩個所述半圓形缺口圓心之間的距離為0.2微米～1.5微米；

所述第二聲光子晶體波導與所述第一聲光子晶體波導對稱排布于所述外部連接波導的兩側；

所述第一聲光子晶體波導上的多個半圓形缺口沿所述第一聲光子晶體波導的延伸方向均勻間隔排布，所述第二聲光子晶體波導上的多個半圓形缺口沿所述第二聲光子晶體波導的延伸方向均勻間隔排布；

所述第一聲光子晶體波導與所述外部連接波導連接的一側為直線段，所述第二聲光子晶體波導與所述外部連接波導連接的一側為直線段；

所述直彎型諧振波導的長度和寬度滿足布里淵相位匹配條件；

所述直彎型諧振波導與所述耦合波導的寬度均為0.4微米～1.5微米，所述直彎型諧振波導與所述耦合波導的高度均為0.2微米～1.5微米。

2.如權利要求1所述的螺旋混合波導，其特征在于，所述中間段波導呈圓角矩形環。

3.如權利要求2所述的螺旋混合波導，其特征在于，所述耦合波導與所述圓角矩形環的直線段相對，且所述耦合波導的中間段朝向該圓角矩形環的直線段凸起；

所述耦合波導與該圓角矩形環的直線段之間的最短間距為0.02微米～0.6微米。

4.如權利要求1所述的螺旋混合波導，其特征在于，所述中間段波導包括間隔的第一波導段和第二波導段，所述第一波導段的一端與所述中心連接波導的一端連接，所述第二波導段的一端與所述中心連接波導的另一端連接，所述第一波導段的另一端與所述外部連接波導的一端連接，所述第二波導段的另一端與所述外部連接波導的另一端連接。

5.如權利要求4所述的螺旋混合波導，其特征在于，所述中心連接波導呈S形；

所述外部連接波導包括直線段和弧形段，所述直線段的一端與所述第一波導段的另一端圓滑連接，所述直線段的另一端與所述弧形段的一端圓滑連接，所述弧形段的另一端與所述第二波導段的另一端圓滑連接。