[發明專利]一種進行自動匹配的測試方法

在審

• 申請號: 202011635227.5
• 申請日: 2020-12-31
• 公開（公告）號: CN112834906A
• 公開（公告）日: 2021-05-25
• 發明（設計）人: 李成霞;成家柏;吳鑫;楊靖;陳巍
• 申請（專利權）人: 杭州廣立微電子股份有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 江蘇坤象律師事務所 32393
• 代理人: 趙新民

1.一種進行自動匹配的測試方法，其特征在于：包括：

步驟S1.獲取所有待測晶圓信息，以及進行測試的第一測試計劃；

步驟S2.選擇預設數量的晶圓進行測試，獲取第一測試數據；

步驟S3.將所述第一測試數據，及產品的基準文件、產品的模板測試規格文件，作為自動匹配處理的輸入讀入，進行自動匹配處理生成第二測試計劃；

步驟S4.選擇待測晶圓按所述第二測試計劃進行測試，獲取第二測試數據。

2.根據權利要求1所述的一種進行自動匹配的測試方法，其特征在于：所述產品的基準文件包括測試項、測試項的均值和標準差，用來對所述第一測試數據在自動匹配處理過程中作對比判斷。

3.根據權利要求2所述的一種進行自動匹配的測試方法，其特征在于：所述步驟S3中進行自動匹配處理的過程包括：

第一步，讀取第一測試數據，根據預設要求刪除異常點；

第二步，根據輸出項名稱特征提取，將第一測試數據按數據類型進行分類，分別對其進行處理，獲得各類型數據的最佳條件并代入到產品的模板測試規則文件中。

4.根據權利要求3所述的一種進行自動匹配的測試方法，其特征在于：所述步驟S3中進行自動匹配處理的過程包括：第一測試數據按分為數據類型分為小電流數據和電容數據兩部分；所述最佳條件包括最佳積分時間、最佳穩定系數和偏移值。

5.根據權利要求4所述的一種進行自動匹配的測試方法，其特征在于：小電流數據的處理過程包括：

第一步，將小電流數據對測試項在不同穩定系數條件下求均值，判斷均值是否小于設定值；

第二步，對積分時間短的測試項的小電流數據在穩定系數范圍內做擬合求變化率，根據變化率做數據擬合，求出最佳穩定系數和偏移值；

第三步，根據最佳穩定系數計算不同積分時間條件下的標準差，判斷計算得到的小電流數據的標準差與基準文件的標準差比值是否小于設定值，以此來判斷最佳的積分時間。

6.根據權利要求4所述的一種進行自動匹配的測試方法，其特征在于：電容數據的處理過程包括：

第一步，將電容數據對每個測試項在不同穩定系數條件下求均值和標準差；

第二步，根據穩定系數與標準差函數的單調性確定最佳穩定系數，同時確定最佳穩定系數下的偏移值。

7.根據權利要求5所述的一種進行自動匹配的測試方法，其特征在于：所述小電流數據在擬合過程中，最佳條件的計算方法包括：

當所有的偏移值變化率小于設定值時，所有點做直線擬合，以此得到最佳積分時間與偏移值；

當不是所有的偏移值變化率都小于設定值時，若所擬合函數斜率的絕對值是遞減函數時，計算得到穩定點的擬合值，以此得到最佳積分時間與偏移值；若所擬合函數斜率的絕對值不是遞減函數時，在小電流數據中設定一個預設值a，直接使用a以后的數據作直線擬合，計算得到最佳積分時間與偏移值。

8.根據權利要求5所述的一種進行自動匹配的測試方法，其特征在于：所述小電流數據在處理時，以小電流數據的標準差與基準文件的標準差比值來判斷最佳積分時間的方法包括：

當小電流數據的標準差與基準文件標準差的比值小于設定值時，直接選取當前的積分時間作為最佳積分時間；

當小電流數據的標準差與基準文件標準差的比值不小于設定值時，若小電流數據的標準差與積分時間的函數具有單調性時，根據單調性確定最佳積分時間，即選取離設定值最近的下一點為最佳積分時間；

若小電流數據的標準差與積分時間的函數不具有單調性時，如果小電流數據的標準差與積分時間的曲線具有穩定狀態，則取穩定狀態中的最小值為最佳積分時間，如果沒有穩定狀態，則取積分時間的最大值為最佳積分時間。

9.根據權利要求5所述的一種進行自動匹配的測試方法，其特征在于：確定最佳穩定系數下的偏移值的方法包括，穩定系數值根據單調性確定一個值，若找不到該值，則取所有穩定系數值中的最大值。