[發明專利]一種濾波器孔狀結構內壁鍍層的去除裝置和方法

有效

• 申請號: 202011632686.8
• 申請日: 2020-12-31
• 公開（公告）號: CN112846517B
• 公開（公告）日: 2022-09-06
• 發明（設計）人: 王雪輝;戚云飛;溫彬;喻浩;王建剛
• 申請（專利權）人: 武漢華工激光工程有限責任公司
• 主分類號: B23K26/36
• 分類號: B23K26/36;B23K26/082;B23K26/064
• 代理公司: 北京集智東方知識產權代理有限公司 11578
• 代理人: 吳倩;龔建蓉

本發明涉及一種濾波器孔狀結構內壁鍍層的去除裝置和方法，其包括：激光器，其用于產生并輸出激光光束；振鏡，其用于對激光器輸出的激光光束進行偏轉；透鏡組以及聚焦鏡組，從振鏡中射出的激光光束經透鏡組改變角度后進入聚焦鏡組，所述聚焦鏡組對激光光束進行處理，使得從聚焦鏡組中射出的激光光束具有傾角θ，并作用于濾波器孔狀結構內壁，實現濾波器孔狀結構內壁鍍層的去除。本發明通過對激光進行偏轉，使其直接作用于濾波器孔狀結構內壁，以實現孔狀結構內壁鍍層的去除，以此提高去除效率。

技術領域

本發明涉及光電元器件制造領域，尤其涉及一種濾波器孔狀結構內壁鍍層的去除裝置和方法。

背景技術

濾波器是基站射頻核心部件，其主要功能是使特定頻率的信號通過，而極大地衰減其他頻率的信號。目前的濾波器主要有三大類：金屬同軸腔體、陶瓷介質諧振和陶瓷介質。其中，隨著5G技術的發展和不斷深化，陶瓷介質類由于其體積小、Q值高、插損低、穩定性好、承受功率高等優點逐漸成為主流。

但是由于陶瓷本身不導電，需要對其進行金屬化處理才能使其具備濾波器的功能，主要包括噴銀、浸銀、絲網印刷等方法。基于加工效率的因素，對陶瓷介質濾波器的金屬化往往是整體的，這就導致濾波器上的孔狀結構，如通孔和盲孔的內壁上也附著有金屬層，其會極大地影響產品的性能。為提高濾波性能，則需要對這些孔內壁的鍍金屬層進行去除。傳統的做法是利用人工對孔內壁上的金屬層進行打磨，但該種方法效率低、勞動強度大且不利于批量化生產。

由此，申請號為2019103105258的發明專利提供了一種去濾波器鍍層的激光加工設備。但由于激光射出方向是垂直向下且不可變的，因此該設備僅能對俯面的金屬材料進行去除，如需要去除側壁孔狀結構內壁的金屬材料，則只能通過多次平移旋轉四軸運動模組，從而將側壁暴露在俯面才能進一步通過激光去除，其同樣會導致設備加工效率低，穩定性無法保證，而且四軸運動模組笨重又不實用，還會增加額外的成本。

發明內容

本發明的目的是提供一種濾波器孔狀結構內壁鍍層的去除裝置和方法，其通過對激光進行偏轉，使其直接作用于濾波器孔狀結構內壁，以實現孔狀結構內壁鍍層的去除，以此提高去除效率。

為了實現上述目的，本發明采用了如下技術方案：

一方面，提供了一種濾波器孔狀結構內壁鍍層的去除裝置，其包括：

激光器，其用于產生并輸出激光光束；

振鏡，其用于對激光器輸出的激光光束進行偏轉；

透鏡組以及聚焦鏡組，從振鏡中射出的激光光束經透鏡組改變角度后進入聚焦鏡組，所述聚焦鏡組對激光光束進行處理，使得從聚焦鏡組中射出的激光光束具有傾角θ，并作用于濾波器孔狀結構內壁，實現濾波器孔狀結構內壁鍍層的去除。

優選的，所述傾角θ滿足條件：30°≤θ≤60°。

優選的，所述振鏡輸出的激光光束的光軸與透鏡組、聚焦鏡組的中心軸重合。

優選的，所述濾波器孔狀結構內壁鍍層的去除裝置還包括：第一運動模組，其連接所述振鏡，用于帶動振鏡沿從振鏡中輸出的激光光束的光軸移動。

優選的，所述透鏡組包括：位于入射端的平凸透鏡和位于出射端的平凹透鏡，且所述平凸透鏡和平凹透鏡的光軸重合。

優選的，所述濾波器孔狀結構內壁鍍層的去除裝置還包括：第二運動模組，其連接所述平凸透鏡和/或平凹透鏡，用于帶動所述平凸透鏡和/或平凹透鏡沿從振鏡中射出的激光光束的光軸移動，使得所述平凸透鏡、平凹透鏡發生相對運動。

優選的，所述聚焦鏡組包括：沿入射端至出射端方向依次設置的第一雙凸透鏡、第二雙凸透鏡、第一彎月透鏡、第二彎月透鏡及保護鏡片。

優選的，所述濾波器孔狀結構包括開設在陶瓷介質濾波器側壁上的盲孔和/或通孔。