[發(fā)明專利]反射鏡反射率的測(cè)量方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011631353.3
• 申請(qǐng)日: 2020-12-31
• 公開（公告）號(hào): CN112834462A
• 公開（公告）日: 2021-05-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 許洪剛;馬洪濤;韓冰;金輝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所
• 主分類號(hào): G01N21/55
• 分類號(hào): G01N21/55
• 代理公司: 長(zhǎng)春中科長(zhǎng)光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 22218
• 代理人: 高一明;郭婷

1.一種反射鏡反射率的測(cè)量方法，其特征在于，包括如下步驟：

S1調(diào)節(jié)光路系統(tǒng)，使所述能量發(fā)生組件(1)的光軸與所述探測(cè)器組件(2)對(duì)準(zhǔn)，所述探測(cè)器組件(2)對(duì)所述能量發(fā)生組件(1)的全部光束進(jìn)行成像；

S2記錄步驟S1中所述探測(cè)器組件(2)中CCD相機(jī)(2-2)上的成像總能量值m₁；

S3轉(zhuǎn)動(dòng)所述能量發(fā)生組件(1)使所述能量發(fā)生組件(1)與水平方向形成一定角度，所述能量發(fā)生組件(1)向所述待測(cè)反射鏡(5)發(fā)出光束；

S4調(diào)整所述探測(cè)器組件(2)角度，所述待測(cè)反射鏡(5)將收到的全部光束反射至所述探測(cè)器組件(2)中；

S5記錄步驟S4中所述探測(cè)器組件(2)中CCD相機(jī)(2-2)上的成像總能量值m₂；

S6計(jì)算待測(cè)反射鏡(5)的反射率ε：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反射鏡反射率的測(cè)量方法，其特征在于，所述步驟S3中的第一角度包括所述能量發(fā)生組件(1)出射的光束為傾斜向上出射至所述待測(cè)反射鏡(5)上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反射鏡反射率的測(cè)量方法，其特征在于，所述能量發(fā)生組件(1)發(fā)出的光束為平行光束。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反射鏡反射率的測(cè)量方法，其特征在于，所述能量發(fā)生器組件包括光源(1-2)和用于控住所述光源(1-2)發(fā)出光束路徑的準(zhǔn)直系統(tǒng)(1-1)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反射鏡反射率的測(cè)量方法，其特征在于，所述探測(cè)器組件(2)還包括成像鏡頭(2-1)，所述光束經(jīng)過所述成像鏡頭(2-1)傳送至所述CCD相機(jī)(2-2)中。

6.根據(jù)權(quán)利要求4或5任一項(xiàng)所述的反射鏡反射率的測(cè)量方法，其特征在于，所述成像鏡頭(2-1)的口徑大于所述準(zhǔn)直系統(tǒng)(1-1)的口徑。