[發明專利]一種提高稀土-鐵合金氮化效率的方法

有效

• 申請號: 202011626217.5
• 申請日: 2020-12-31
• 公開（公告）號: CN112872348B
• 公開（公告）日: 2021-11-30
• 發明（設計）人: 段麗娟;盧賜福;邵彩茹;王東興;饒帥;陶進長
• 申請（專利權）人: 廣東省科學院稀有金屬研究所
• 主分類號: B22F1/00
• 分類號: B22F1/00;C23C8/38;H01F41/02
• 代理公司: 廣州科粵專利商標代理有限公司 44001
• 代理人: 蔣歡妹;莫瑤江

1.一種提高稀土-鐵合金氮化效率的方法，其特征在于，該方法包括以下步驟：將需氮化處理的粒徑為1-100μm的稀土-鐵合金粉末放入安裝有介質阻擋放電等離子體發生器的管式真空氮化爐中，使用真空泵將管式真空氮化爐抽真空至低于1×10^-2Pa，向管式真空氮化爐中充入純度高于99.9999%的高純氮氣至50-500kPa，將爐腔加熱至300-500℃，啟動介質阻擋放電等離子體發生器進行氮化，介質阻擋放電等離子體發生器的參數如下：放電電壓為10～40 kV，放電電流為1～2 0mA/cm²，產生的氮等離子體密度為1×10⁹～1×10¹⁰ cm^-3，注入劑量為3×10¹⁷～4×10¹⁷ ions/cm²，氮化完畢后，冷卻爐體，取出氮化粉末；所述稀土-鐵合金粉末選自Sm₂Fe₁₇、Sm₁₁Fe₈₉合金粉末中任一種；安裝有等離子體發生器的管式真空氮化爐，選擇介質阻擋放電等離子體發生器安裝于管式真空氮化爐中，管式真空氮化爐中的樣品管采用石英玻璃材質，并在樣品管的中間位置放一根直徑為5-20mm的鎢棒作為高壓電極，外接高頻電源；在樣品管的外側包裹一層不銹鋼網作為低壓電極，外接地電極。

2.一種用于實施權利要求1所述的方法的管式真空氮化爐，其特征在于，選擇介質阻擋放電等離子體發生器安裝于管式爐中，管式真空氮化爐中的樣品管采用石英玻璃材質，并在樣品管的中間位置放一根直徑為5-20mm的鎢棒作為高壓電極，鎢棒外接高頻電源；在樣品管的外側包裹一層不銹鋼網作為低壓電極，不銹鋼網外接地電極。