[發(fā)明專利]一種應(yīng)用在六氟化硫及其分解產(chǎn)物氣敏傳感器檢測中的氣敏傳感器的測試方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011624751.2
• 申請日: 2020-12-30
• 公開（公告）號: CN112834572B
• 公開（公告）日: 2023-04-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張曼君;李麗;唐念;黎曉淀;孫東偉
• 申請（專利權(quán)）人: 廣東電網(wǎng)有限責(zé)任公司電力科學(xué)研究院
• 主分類號: G01N27/00
• 分類號: G01N27/00
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 賈小慧

1.一種應(yīng)用在六氟化硫及其分解產(chǎn)物氣敏傳感器檢測中的氣敏傳感器的測試方法，基于一種氣敏傳感器的動態(tài)測試平臺實施，其特征在于：

所述氣敏傳感器的動態(tài)測試平臺包括動態(tài)配氣系統(tǒng)、氣敏響應(yīng)室、電學(xué)檢測系統(tǒng)、數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)、光源以及收集裝置；

所述動態(tài)配氣系統(tǒng)、所述氣敏響應(yīng)室以及所述收集裝置依次通過管道連通，所述氣敏響應(yīng)室設(shè)有氣敏傳感器，所述氣敏響應(yīng)室用于采集氣體信號；

所述電學(xué)檢測系統(tǒng)與所述氣敏傳感器電連接，所述數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)與所述電學(xué)檢測系統(tǒng)電連接，所述電學(xué)檢測系統(tǒng)用于將所述氣體信號轉(zhuǎn)換為電信號；

所述動態(tài)配氣系統(tǒng)包括混氣箱以及多個進(jìn)氣箱；

多個所述進(jìn)氣箱分別與所述混氣箱通過管道連通，所述管道上設(shè)有MFC質(zhì)量流量控制器，MFC質(zhì)量流量控制器用于調(diào)整各個進(jìn)氣箱通入氣體的流速；

所述進(jìn)氣箱分為背景進(jìn)氣箱以及調(diào)控進(jìn)氣箱；

背景進(jìn)氣箱用于通入惰性氣體，調(diào)控進(jìn)氣箱用于通入SF₆分解產(chǎn)物氣體；

所述氣敏響應(yīng)室包括外殼、可伸縮電極以及透光窗；

所述氣敏傳感器嵌設(shè)于所述可伸縮電極上，所述可伸縮電極安裝于所述外殼的底部，所述透光窗安裝于所述外殼的頂部；

所述電學(xué)檢測系統(tǒng)通過所述可伸縮電極與所述氣敏傳感器電連接；

所述光源架設(shè)于所述外殼上，且位于所述透光窗的正上方；

所述電學(xué)檢測系統(tǒng)通過所述可伸縮電極與所述氣敏傳感器電連接；

所述測試方法，包括如下步驟：

步驟一：打開背景進(jìn)氣箱的減壓閥通入氮氣或氦氣，清洗整個系統(tǒng)的管路和腔室中的殘余氣體，并檢測氣路的密封性；

步驟二：打開背景進(jìn)氣箱的閥門，通入SF₆背景氣體并控制其流速輸送至氣敏響應(yīng)室中，數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)采集氣敏傳感器在背景氣體的電信號；

步驟三：分別打開背景進(jìn)氣箱和調(diào)控進(jìn)氣箱的減壓閥，通入SO₂F₂以及SF₆兩路氣體，通過動態(tài)配氣系統(tǒng)進(jìn)行調(diào)控流速配比，并在混氣箱內(nèi)充分混勻成為目標(biāo)氣體，輸送至氣敏響應(yīng)室中，數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)實時采集氣敏傳感器在目標(biāo)氣體的電信號；

步驟四：打開數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)的操作界面，將得到的目標(biāo)氣體電信號除去背景氣體的電信號后得到的電信號變化值用于初步評價氣敏響應(yīng)性能。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用在六氟化硫及其分解產(chǎn)物氣敏傳感器檢測的氣敏傳感器的測試方法，其特征在于，還包括控溫臺；

所述控溫臺設(shè)于所述可伸縮電極的底部。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的應(yīng)用在六氟化硫及其分解產(chǎn)物氣敏傳感器檢測的氣敏傳感器的測試方法，其特征在于，所述控溫臺的可調(diào)溫度范圍為25～500℃。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用在六氟化硫及其分解產(chǎn)物氣敏傳感器檢測的氣敏傳感器的測試方法，其特征在于，所述外殼的容積為100mL。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用在六氟化硫及其分解產(chǎn)物氣敏傳感器檢測的氣敏傳感器的測試方法，其特征在于，所述氣敏傳感器通過平板基底嵌設(shè)于所述可伸縮電極上。