[發(fā)明專利]一種自動化的真空蒸鍍方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011623227.3
• 申請日: 2020-12-31
• 公開（公告）號: CN112831756A
• 公開（公告）日: 2021-05-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 薛蒙曉
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州佑倫真空設(shè)備科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/30
• 代理公司: 蘇州彰尚知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32336
• 代理人: 曹恒濤

本申請?zhí)岢鲆环N自動化的真空蒸鍍方法，采用真空蒸鍍機(jī)全自動化進(jìn)行真空蒸鍍，包括步驟：S1，采用粗抽泵對真空蒸鍍機(jī)的腔室內(nèi)進(jìn)行抽真空；S2，關(guān)閉粗抽泵，采用精抽泵繼續(xù)抽真空；S3，在S2抽真空的同時，真空蒸鍍機(jī)的腔室內(nèi)的加熱燈開始預(yù)加熱，去除工件產(chǎn)品表面的水分；S4，在步驟S3加熱燈開始加熱的同時，對坩堝內(nèi)的蒸發(fā)鍍膜材料進(jìn)行預(yù)加熱，使顆粒狀的蒸發(fā)鍍膜材料熔融成一體狀；S5，開啟離子源裝置，對工件產(chǎn)品表面進(jìn)行物理方式的轟擊；S6，對坩堝內(nèi)的熔融成一體狀的蒸發(fā)鍍膜材料，利用電子束或者熱阻蒸發(fā)的原理，使蒸發(fā)鍍膜材料從固態(tài)變成液態(tài)再到氣態(tài)，使蒸發(fā)鍍膜材料氣體分子到達(dá)工件表面，凝固結(jié)核后在工件表面形成鍍膜。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及蒸鍍機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，較為具體的，涉及到一種自動化的真空蒸鍍方法。

背景技術(shù)

真空蒸鍍機(jī)為在真空條件下，通過電流加熱、電子束轟擊加熱和電子束轟擊加熱和離子輔助轟擊基板預(yù)清潔以及離子輔助鍍膜等方式，蒸發(fā)鍍膜材料(或稱膜料)并使之氣化，再使氣化后的粒子飛至基片表面而凝結(jié)，最后形成薄膜。真空蒸鍍具有成膜方法簡單、薄膜純度和致密性高、膜結(jié)構(gòu)和性能獨(dú)特等優(yōu)點，因此得到廣泛的應(yīng)用。

目前的真空蒸鍍的方法，大多都是半自動化的，生產(chǎn)效率低，并且工件產(chǎn)品表面的鍍膜的粘附性較差。

有鑒于此，本發(fā)明提供一種自動化的真空蒸鍍方法，全自動化，生產(chǎn)效率高，并且工件產(chǎn)品表面的鍍膜的粘附性好。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于，提供一種自動化的真空蒸鍍方法，全自動化，生產(chǎn)效率高，并且工件產(chǎn)品表面的鍍膜的粘附性好。

一種自動化的真空蒸鍍方法，采用真空蒸鍍機(jī)全自動化進(jìn)行真空蒸鍍，包括步驟：

S1，采用粗抽泵對真空蒸鍍機(jī)的腔室內(nèi)進(jìn)行抽真空，使得真空蒸鍍機(jī)的腔室內(nèi)的壓強(qiáng)為10pa-40pa；

S2，關(guān)閉粗抽泵，采用精抽泵對真空蒸鍍機(jī)的腔室內(nèi)繼續(xù)進(jìn)行抽真空，使得真空蒸鍍機(jī)的腔室內(nèi)的壓強(qiáng)為1×10^-1Pa～1×10^-5Pa；

S3，在S2抽真空的同時，真空蒸鍍機(jī)的腔室內(nèi)的加熱燈開始預(yù)加熱，真空環(huán)境下通過加熱燈加熱，去除工件產(chǎn)品表面的水分，增加被鍍膜產(chǎn)品表面的干燥度，從而增加粘附力；

S4，在步驟S3加熱燈開始加熱的同時或者在步驟S3之后，對坩堝內(nèi)的蒸發(fā)鍍膜材料進(jìn)行預(yù)加熱，使顆粒狀的蒸發(fā)鍍膜材料熔融成一體狀，方便后續(xù)鍍膜蒸發(fā)；

S5，開啟離子源裝置，離子源裝置通過氬氣分子被電離后產(chǎn)生的氬氣離子對工件產(chǎn)品表面進(jìn)行物理方式的轟擊，起到清潔和增加表面粗糙度的作用，增加后續(xù)鍍膜的粘附性；

S6，對坩堝內(nèi)的熔融成一體狀的蒸發(fā)鍍膜材料，利用電子束或者熱阻蒸發(fā)的原理，對蒸發(fā)鍍膜材料表面進(jìn)行電子束轟擊加熱或者通過電流加熱的方式使蒸發(fā)鍍膜材料從固態(tài)變成液態(tài)再到氣態(tài)，使蒸發(fā)鍍膜材料氣體分子到達(dá)工件表面，凝固結(jié)核后在工件表面形成鍍膜。

在一些實施方式中，在步驟S1中，粗抽泵包括：油泵、或干泵。

進(jìn)一步的，真空蒸鍍機(jī)的腔室內(nèi)的壓強(qiáng)達(dá)到10pa-40pa，傳感器啟動將信號傳輸?shù)骄楸谩?/p>

在一些實施方式中，在步驟S2中，精抽泵包括：低溫泵、分子泵、或擴(kuò)散泵中的一種。

進(jìn)一步的，粗抽泵關(guān)閉后，精抽泵的高閥PV11被打開，精抽泵開始工作。

在一些實施方式中，步驟S3之前以及步驟S2之后，還包括步驟：對真空蒸鍍機(jī)的腔室內(nèi)繼續(xù)進(jìn)行抽真空，使腔室內(nèi)的壓強(qiáng)為9.9×10^-3Pa～1.0×10^-7Pa，達(dá)到更高的真空度。