[發(fā)明專(zhuān)利]一種同時(shí)生產(chǎn)電子級(jí)硅烷和電子級(jí)一氯硅烷的系統(tǒng)和方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011623066.8
• 申請(qǐng)日: 2020-12-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112758936A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-05-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陶剛義;汪俊
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 內(nèi)蒙古興洋科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C01B33/04
• 分類(lèi)號(hào): C01B33/04;C01B33/107;B01J19/00;B01D3/14;B01D3/32
• 代理公司: 北京慕達(dá)星云知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11465
• 代理人: 崔自京

1.一種同時(shí)生產(chǎn)電子級(jí)硅烷和電子級(jí)一氯硅烷的系統(tǒng)，其特征在于，包括：氫化系統(tǒng)(1)、歧化塔一(2)、歧化塔二(3)、硅烷分離提純裝置(4)、一氯硅烷分離提純裝置(5)、冷凝器一(6)和冷凝器二(7)；

其中，所述冷凝器一(6)固定在所述歧化塔一(2)的頂端，并與所述歧化塔一連通；所述冷凝器二(7)固定在所述歧化塔二(3)的頂端，并與所述歧化塔二(3)連通；

所述氫化系統(tǒng)(1)的頂端出口與所述歧化塔一(2)的入口連通；所述歧化塔一(2)的頂端出口與所述歧化塔二(3)的入口連通，底端出口與所述氫化系統(tǒng)(1)的入口連通；

所述歧化塔二(3)的底端出口與所述歧化塔一(2)的入口連通，頂端出口與所述硅烷分離提純裝置(4)的入口連通；

所述硅烷分離提純裝置(4)的底端出口與所述一氯硅烷分離提純裝置(5)的入口連通，所述一氯硅烷分離提純裝置(5)的底端出口與所述歧化塔二(3)的入口連通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種同時(shí)生產(chǎn)電子級(jí)硅烷和電子級(jí)一氯硅烷的系統(tǒng)，其特征在于，所述氫化系統(tǒng)(1)包括：反應(yīng)器本體、溫度檢測(cè)裝置、壓力檢測(cè)裝置、除塵裝置和流化床；所述溫度檢測(cè)裝置、所述壓力檢測(cè)裝置和所述除塵裝置相鄰設(shè)置，并固定在所述反應(yīng)器本體內(nèi)；所述流化床固定在所述反應(yīng)器本體中部。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種同時(shí)生產(chǎn)電子級(jí)硅烷和電子級(jí)一氯硅烷的系統(tǒng)，其特征在于，所述歧化塔一(2)和所述歧化塔二(3)的頂端均設(shè)置有精餾段，底端設(shè)置有提餾段，中間填充有催化劑。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種同時(shí)生產(chǎn)電子級(jí)硅烷和電子級(jí)一氯硅烷的系統(tǒng)，其特征在于，所述硅烷分離提純裝置(4)包括：硅烷粗分離塔(41)、硅烷精餾塔一(42)、硅烷精餾塔二(43)和硅烷儲(chǔ)罐(44)、三個(gè)冷凝器三(45)；

其中，三個(gè)所述冷凝器三(45)分別固定在所述硅烷粗分離塔(41)、硅烷精餾塔一(42)、硅烷精餾塔二(43)的頂端并分別與所述硅烷粗分離塔(41)、硅烷精餾塔一(42)、硅烷精餾塔二(43)的頂端連通；

所述硅烷粗分離塔(41)的入口與所述歧化塔一(2)的頂端出口連通，所述硅烷粗分離塔(41)的底端出口與所述一氯硅烷分離提純裝置(5)的入口連通；所述硅烷粗分離塔(41)的頂端出口與所述硅烷精餾塔一(42)的入口連通；

所述硅烷精餾塔一(42)的底端出口與所述硅烷精餾塔二(43)的入口連通；所述硅烷精餾塔二(43)的頂端出口與所述硅烷儲(chǔ)罐(44)連通，底端出口與所述一氯硅烷分離提純裝置(5)的入口連通。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種同時(shí)生產(chǎn)電子級(jí)硅烷和電子級(jí)一氯硅烷的系統(tǒng)，其特征在于，所述硅烷分離提純裝置(4)還包括硅烷緩沖罐(46)，所述硅烷緩沖罐(46)的入口與所述硅烷粗分離塔(41)的頂端出口連通，出口與所述硅烷精餾塔一(42)的入口連通。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種同時(shí)生產(chǎn)電子級(jí)硅烷和電子級(jí)一氯硅烷的系統(tǒng)，其特征在于，所述一氯硅烷分離提純裝置(5)包括：一氯硅烷精餾塔一(51)、一氯硅烷精餾塔二(52)、一氯硅烷精餾塔三(53)、一氯硅烷儲(chǔ)罐(54)和三個(gè)冷凝器四(55)；

其中，三個(gè)所述冷凝器四(55)分別固定在所述一氯硅烷精餾塔一(51)、所述一氯硅烷精餾塔二(52)、所述一氯硅烷精餾塔三(53)的頂端并與之連通；

所述硅烷粗分離塔(41)的底端出口、所述硅烷精餾塔二(43)的底端出口和所述一氯硅烷精餾塔三(53)的底端出口分別與所述一氯硅烷精餾塔一(51)的入口連通；所述一氯硅烷精餾塔一(51)的底端出口與所述歧化塔二(3)的入口連通，所述一氯硅烷精餾塔一(51)的頂端出口與所述一氯硅烷精餾塔二(52)的入口連通；

所述一氯硅烷精餾塔二(52)的底端出口與所述一氯硅烷精餾塔三(53)的入口連通；所述一氯硅烷精餾塔三(53)的頂端出口與所述一氯硅烷儲(chǔ)罐(54)連通。