[發明專利]一種晶體材料區熔提純裝置

在審

• 申請號: 202011620409.5
• 申請日: 2020-12-31
• 公開（公告）號: CN112877785A
• 公開（公告）日: 2021-06-01
• 發明（設計）人: 羅亞南;郭關柱
• 申請（專利權）人: 云南農業大學
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00
• 代理公司: 北京隆達恒晟知識產權代理有限公司 11899
• 代理人: 楊青

1.一種晶體材料區熔提純裝置，其特征在于：所述的晶體材料區熔提純裝置包括機架（1）、支撐板（2）、導桿（3）、支撐滑座（4）、伺服驅動裝置（5）、支撐座（6）、移動式區熔加熱裝置（7）、透明防護罩（8）、密封法蘭盤（9）、石英管（10）、分支管路（11）、主管路（12）、支管開關閥（13）、真空泵（14）、真空開關閥（15）、密封蓋（16）、真空管（17），所述的機架（1）的頂部安裝有兩套平行的支撐板（2），兩個支撐板（2）上安裝有兩根根導桿（3），導桿（3）上安裝有一個支撐滑座（4），支撐座（6）安裝在兩個支撐滑座（4）上，支撐座（6）的底部與安裝在機架（1）頂部的伺服驅動裝置（5）連接，支撐座（6）的頂部至少安裝有兩套移動式區熔加熱裝置（7），移動式區熔加熱裝置（7）的中部開設一個加熱孔；機架（1）的頂部安裝有一個透明防護罩（8），透明防護罩（8）的兩側壁上安裝有與每套移動式區熔加熱裝置（7）正對的成對密封法蘭盤（9），成對的密封法蘭盤（9）中心孔與相應的移動式區熔加熱裝置（7）上的加熱孔在一條直線上，石英管（10）穿過相應的移動式區熔加熱裝置（7）上的加熱孔后期兩端固定在密封法蘭盤（9）上，石英管（10）的開口端設置有密封蓋（16），密封蓋（16）上設置有分支管路（11），分支管路（11）與主管路（12）連通，分支管路（11）上設置有支管開關閥（13），主管路（12）與真空管（17）連接，真空管（17）與真空泵（14）連接，真空管（17）上設置有真空開關閥（15），真空開關閥（15）、支管開關閥（13）與PLC控制器（22）連接，PLC控制器（22）與真空泵（14）連接。

2.根據權利要求1所述的一種晶體材料區熔提純裝置，其特征在于：所述的移動式區熔加熱裝置（7）包括加熱罩體（18）、保溫隔熱層（19）、加熱電偶（20）、加熱套（31），所述的加熱罩體（18）安裝在支撐座（6）上，加熱罩體（18）的中部開設有加熱孔，加熱罩體（18）內腔靠近加熱孔一側內壁上為加熱套（31），加熱套（31）固定在加熱罩體（18）上，加熱罩體（18）的內壁上設置有保溫隔熱層（19），保溫隔熱層（19）與加熱套（31）之間的空腔內安裝有加熱電偶（20），加熱罩體（18）的加熱孔兩端壁上開設有導熱孔（34）。

3.根據權利要求2所述的一種晶體材料區熔提純裝置，其特征在于：所述的溫隔熱層（19）與加熱套（31）之間的空腔中安裝有溫度傳感器（32），溫度傳感器（32）與PLC控制器（22）連接，PLC控制器（22）通過繼電器與加熱電偶（20）連接。

4.根據權利要求1-3任意一項所述的一種晶體材料區熔提純裝置，其特征在于：所述的主管路（12）上設置有氫氣管道（23），氫氣管道（23）與氫氣罐（24）連接，氫氣管道（23）上設置有氫氣開關閥（25），氫氣開關閥（25）通過PLC控制器（22）控制。

5.根據權利要求1-4任意一項所述的一種晶體材料區熔提純裝置，其特征在于：所述的主管路（12）上設置有氮氣管道（27），氮氣管道（27）與氮氣罐（26）連接，氮氣管道（27）上設置有氮氣開關閥（28），氮氣開關閥（28）與PLC控制器（22）控制連接。

6.根據權利要求1-5任意一項所述的一種晶體材料區熔提純裝置，其特征在于：透明防護罩（8）內腔、連接管路和開關閥與密封法蘭等附近設置有氫氣泄漏傳感器（36），氫氣泄漏傳感器（36）與PLC控制器（22）連接，PLC控制器（22）與報警燈（37）連接。