[發明專利]一種太陽能電池制備方法及太陽能電池片在審
| 申請號: | 202011619286.3 | 申請日: | 2020-12-31 |
| 公開(公告)號: | CN112820796A | 公開(公告)日: | 2021-05-18 |
| 發明(設計)人: | 王會娜 | 申請(專利權)人: | 蘇州索雷特自動化科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L31/18 | 分類號: | H01L31/18;B23K26/38 |
| 代理公司: | 北京市萬慧達律師事務所 11111 | 代理人: | 韓兵 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 太陽能電池 制備 方法 | ||
本發明公開了一種太陽能電池制備方法及太陽能電池片,涉及太陽能電池加工技術領域。其在硅片切割并且去除損傷層后,及在硅片表面制絨前,通過聚焦激光束在硅片內部聚焦掃描,以使得在硅片內部沿激光焦點掃描方向形成改質層及孔洞。本發明提供的一種太陽能電池制備方法及太陽能電池片,能夠使得制出的太陽能電池片的斷面整齊,沒有微裂紋和切割溝槽,且無熱影響區。
技術領域
本發明涉及太陽能電池加工技術領域,尤其涉及一種太陽能電池制備方法及太陽能電池片。
背景技術
光伏技術的發展推動著與太陽能電池串相關產業的不斷壯大,對太陽能電池片的需求也日趨增加。在太陽能電池片的生產過程中,需要將大的電池片進行切割,以形成需要的電池片尺寸。
目前,通常采用激光劃片的方式對太陽能電池片進行切割,其存在以下問題:切割線處的熱影響區較大,影響電池片的發電效率;存在切割溝槽,切割溝槽導致的槽體損失,導致電池片的發電面積減小;切割溝槽處存在微裂紋,易產生隱裂。
因此,設計一種新的電池片制備或切割加工方法意義重大。
發明內容
為了解決現有技術的不足,本發明的主要目的在于提供一種太陽能電池制備方法及太陽能電池片,能夠使得制出的太陽能電池片的斷面整齊,沒有微裂紋和切割溝槽,且無熱影響區。
為了實現上述目的,本發明的技術方案如下:
一種太陽能電池制備方法,在硅片切割并且去除損傷層后,及在硅片表面制絨前,通過聚焦激光束在硅片內部聚焦掃描,以使得在硅片內部沿激光焦點掃描方向形成改質層及孔洞。
可選地,包括以下步驟:
S1、硅片切割、去除損傷層;
S2、通過聚焦激光束在硅片內部聚焦掃描,使得在硅片內部沿激光焦點掃描方向形成改質層及孔洞;
S3、在硅片表面制絨、制備PN結,對硅片的周邊表面進行邊緣刻蝕、清洗;
S4、在硅片表面沉積減反射層;
S5、在硅片上制備電極,使硅片制成電池片;
S6、對電池片進行測試。
可選地,還包括以下步驟:
S7、電池片切割,通過熱裂激光聚焦后沿所述改質層掃描,使所述電池片沿所述改質層裂開。
可選地,S2中,所述聚焦激光束采用1046-1342nm脈沖激光器、納秒激光器或皮秒激光器中的任一種。
可選地,S2中,所述聚焦激光束掃描的次數根據所需要的改質層厚度進行選擇。
可選地,S2中,所述聚焦激光束掃描的次數為一道或多道。
可選地,S7中,所述熱裂激光采用1050-1090nm連續激光器或900-950nm半導體激光器。
可選地,所述熱裂激光的聚焦光斑的直徑為1-2mm。
可選地,S5中,電極采用絲網印刷法制備,然后通過共燒使電極形成歐姆接觸。
本發明還提供了一種太陽能電池片,采用如前所述的太陽能電池制備方法制備切割。
本發明提供的一種太陽能電池制備方法,其制備過程中,在硅片切割并且去除損傷層后,通過聚焦激光束在硅片內部聚焦掃描,以使得在硅片內部沿激光焦點掃描方向形成改質層及孔洞。即,在太陽能電池片的硅片制備過程中,增加激光隱形切割工藝,以在硅片的內部預制出改質層及孔洞;待硅片制成大的電池片(此處所指的大的電池片,即為一個完整的硅圓制備出的、未經過切割的電池片),即可以通過熱裂的方式進行激光掃描,使得改質層及孔洞處在熱應力作用下裂開,完成電池片的切割。
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H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發光光源在結構上相連的,并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的





