[發(fā)明專利]一種超細半導(dǎo)體切片用螺旋鎢絲

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011617159.X
• 申請日: 2020-12-30
• 公開（公告）號: CN112743689A
• 公開（公告）日: 2021-05-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張釋偉;李曉軍;盛榮生;蔡磊
• 申請（專利權(quán)）人: 鎮(zhèn)江耐絲新型材料有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B24B27/06
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務(wù)所(普通合伙) 32204
• 代理人: 方亞曼

本發(fā)明公開了一種超細半導(dǎo)體切片用螺旋鎢絲，材質(zhì)為鎢絲；所述鎢絲的原始直徑為40μm；所述鎢絲的螺旋狀通過至少兩組波形復(fù)合形成；其中第一波形為0度波形，第二波形為90度波形。鎢絲替換原有鋼絲的材質(zhì)獲得了更大極限的壓縮率；且新的波形設(shè)計更為密集，有效組織碳化硅砂粒在切割絲表面的滾動，具有更佳的切割能力；此外，鎢絲波形的抗變形能力更強，切割過程中，前后波形的保持能力更佳。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及鋼簾線的制備方法領(lǐng)域，尤其涉及一種超細半導(dǎo)體切片用螺旋鎢絲。

背景技術(shù)

目前半導(dǎo)體切片所用到的細絲材料均為鋼鐵性質(zhì)，其直徑一般在0.09-0.175微米，而鋼絲受鋼鐵冶煉的影響，鋼鐵中不可避免有雜質(zhì)存在，碳含量一般在0.08％-0.92％；能應(yīng)用到多線砂漿切割的鋼絲，最細0.09微米；而砷化鎵、鍺等半導(dǎo)體材料，非常昂貴，又比較軟，適合用細絲切割，減少材料浪費，而鋼絲一方面因其材料限制，無法批量使用0.09微米以下直徑的細絲；另一方面其變行由兩組波組成，第2組波，垂直壓在第1組上，現(xiàn)有的波長結(jié)構(gòu)，不適合在更細直徑微絲上變形。

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明目的：為了克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷，本發(fā)明提出了一種超細半導(dǎo)體切片用螺旋鎢絲，直徑可以拉拔至超細的結(jié)構(gòu)，且抗變形能力更強。

技術(shù)方案：為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案為：一種超細半導(dǎo)體切片用螺旋鎢絲，其特征在于材質(zhì)為鎢絲；所述鎢絲的原始直徑為24μm。

所述鎢絲的螺旋狀通過至少兩組波形垂直復(fù)合形成；其中第一波形為0度波形，第二波形為90度波形。

更進一步的，所述鎢絲的直徑可拉拔至0.03-0.08μm。

更進一步的，所述鎢絲中鎢的含量為＞99.95％。

更進一步的，所述第一波形的波高為35μm。

更進一步的，所述第二波形的波高為27μm。

有益效果：本發(fā)明具有以下優(yōu)點：

(1)鋼的楊氏模量為2.0，鎢的楊氏模量為3.6，鎢具有更大極限的壓縮率；

(2)新的波形的設(shè)計更為密集，有效組織碳化硅砂粒在切割絲表面的滾動，具有更佳的切割能力；

(3)鎢絲波形的抗變形能力更強，切割過程中，前后波形的保持能力更佳。

具體實施方式

下面結(jié)合實施例對本發(fā)明作進一步的詳細說明：

實施例1：

一種超細半導(dǎo)體切片用螺旋鎢絲，材質(zhì)為鎢絲；所述鎢絲的原始直徑為40μm；

所述鎢絲的螺旋狀通過兩組波形復(fù)合形成；其中第一波形為0度波形，第二波形為90度波形。所述第一波形的波高為35μm。所述第二波形的波高為27μm。

對比例1：

傳統(tǒng)的切割鋼絲，材質(zhì)為鋼絲，所述鋼絲的原始直徑為100μm；其波形與鎢絲相同。

將實施例1與對比例1的切割絲進行切割應(yīng)用后，如表1所示：

表1實施例1和對比例1切割絲對比

此外，切割絲鋸縫損耗計算公式為D₂＝D₀+3.5D₅₀+D1

D₂——鋸縫損耗；

D₀——切割絲直徑；

D₅₀——切割砂的粒度，一般為8±1μm；