[發明專利]一種測試裝置及測試方法

在審

• 申請號: 202011615884.3
• 申請日: 2020-12-30
• 公開（公告）號: CN112816186A
• 公開（公告）日: 2021-05-18
• 發明（設計）人: 徐偉;胡運龍;劉英奇;唐鈺婷
• 申請（專利權）人: 昆山鈞沃光電有限公司
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

本發明屬于硅基OLED顯示器檢測技術領域，一方面公開了一種測試裝置，該測試裝置包括顯微檢測儀、移載機構、載臺及基座，顯微檢測儀能夠檢測被載臺承載的顯示器，移載機構能夠調整載臺的傾角，以使顯微檢測儀能夠檢測處于不同傾角位置的顯示器上的像素點，測試裝置還包括檢測機構，檢測機構被配置檢測載臺的實際傾角，以使移載機構能夠補償載臺的實際傾角與預設的檢測傾角之間的偏差，移載機構還能夠移動載臺，以校正偏離的顯示器上的像素點至與顯微檢測儀的檢測光軸重合。本發明另一方面公開了一種測試方法。通過該測試裝置和測試方法，使得該測試裝置避免了移載機構或顯微檢測儀在移動的過程中出現的偏差，提高了檢測效率。

技術領域

本發明涉及硅基OLED顯示器檢測技術領域，尤其涉及一種測試裝置及測試方法。

背景技術

硅基OLED微型顯示器是結合CMOS(互補金屬氧化物半導體)工藝和OLED(有機發光半導體)技術，以單晶硅作為有源驅動背板而制作的主動式有機發光二極管顯示器件。硅基OLED微型顯示器的尺寸很小，發光面一般在2英寸以內，但是顯示器的像素分辨率較高，使得顯示器上的每一個像素單元的尺寸很小。

現有的檢測裝置一般采用三維直線運動平臺，并通過調整顯微檢測儀的檢測角度來完成像素單元在不同角度的檢測，但是由于像素單元的尺寸小，使得顯微檢測儀的顯微鏡組長，并且景深非常小。

在直線運動平臺運動或在顯微檢測儀轉動的過程中，可能會出現移動的偏差，進而導致檢測圖像四周不清晰，像素邊界無法正常抓取，導致檢測效率低。

因此，亟于解決上述問題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種測試裝置及測試方法，以解決測試裝置在直線運動平臺運動或在顯微檢測儀轉動的過程中，可能會出現移動的偏差，進而導致檢測圖像四周不清晰的問題。

為達此目的，本發明一方面提供一種測試裝置，該測試裝置包括顯微檢測儀、移載機構、載臺及基座，所述顯微檢測儀能夠檢測被所述載臺承載的顯示器，所述移載機構能夠調整所述載臺的傾角，以使所述顯微檢測儀能夠檢測處于不同傾角位置的所述顯示器上的像素點，所述測試裝置還包括檢測機構，其中：

所述檢測機構被配置檢測所述載臺的實際傾角，以使所述移載機構能夠補償所述載臺的所述實際傾角與預設的檢測傾角之間的偏差；

所述移載機構還能夠移動所述載臺，以校正偏離的所述顯示器上的所述像素點至與所述顯微檢測儀的檢測光軸重合。

作為優選，所述移載機構包括第一驅動部和第二驅動部，其中：

所述載臺、所述第一驅動部、所述基座及所述第二驅動部依次連接；

所述第一驅動部被配置為驅動所述載臺繞第一轉軸轉動，以調節被所述載臺承載的所述顯示器繞所述第一轉軸的傾角；

所述第二驅動部能夠驅動所述基座沿垂直于所述第一轉軸的第一方向移動。

作為優選，所述檢測機構包括分別設置于所述第一轉軸兩側的第一檢測部和第二檢測部，所述第一檢測部和所述第二檢測部能夠分別檢測各自與所述載臺沿豎直方向的距離，所述第一檢測部和所述第二檢測部的連線垂直于所述第一轉軸。

作為優選，所述移載機構還包括第三驅動部和第四驅動部，其中：

所述載臺、所述第一驅動部、所述第三驅動部、所述基座、所述第二驅動部、所述第四驅動部依次連接；

所述第三驅動部驅動所述載臺繞第二轉軸轉動，以調節被所述載臺承載的所述顯示器繞所述第二轉軸的傾角，所述第二轉軸垂直于所述第一轉軸；

所述第四驅動部能夠驅動所述基座沿垂直于所述第二轉軸的第二方向移動。