[發明專利]一種高效晶圓片的清洗裝置

有效

• 申請號: 202011615727.2
• 申請日: 2020-12-30
• 公開（公告）號: CN112768375B
• 公開（公告）日: 2022-06-10
• 發明（設計）人: 錢誠;李剛;周興江
• 申請（專利權）人: 江蘇亞電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/02
• 代理公司: 北京商專潤文專利代理事務所(普通合伙) 11317
• 代理人: 陳平

1.一種高效晶圓片的清洗裝置，包括清洗桶(1)，其特征在于：所述清洗桶(1)主要由外桶體(101)、內桶體(102)、噴頭(103)組成，所述外桶體(101)內側頂部固定有所述內桶體(102)，所述內桶體(102)內側頂部設置有向下傾斜的所述噴頭(103)，還包括驅動機構(2)，所述驅動機構(2)包括機架(201)、電機(203)，所述機架(201)通過螺栓連接在所述外桶體(101)頂部，所述機架(201)頂部設置有所述電機(203)，所述電機(203)的輸出端穿過所述機架(201)，且連接有聯動機構(3)，所述聯動機構(3)包括轉動軸(31)、升降組件(32)、轉動組件(33)，所述轉動軸(31)上端與所述電機(203)的輸出端固定連接，所述轉動軸(31)下端連接有所述升降組件(32)，所述轉動軸(31)周側連接有所述轉動組件(33)，所述升降組件(32)包括傳動絲杠(321)、螺紋管(322)、行星架(323)，所述傳動絲杠(321)上端與所述轉動軸(31)固定連接，所述傳動絲杠(321)下端伸進所述螺紋管(322)內側，且與所述螺紋管(322)螺接，所述螺紋管(322)底部通過螺栓連接有所述行星架(323)，所述轉動組件(33)包括固定架(331)、外齒環(332)、驅動桿(333)、被動轉桿(334)、連接頭(335)、滾珠(336)，所述固定架(331)鍵連接在所述轉動軸(31)周側，所述固定架(331)外側通過螺釘連接有所述外齒環(332)，所述外齒環(332)周側嚙合有若干個齒輪，且每個齒輪內側均鍵連接有一個所述驅動桿(333)，所述驅動桿(333)內側設置有所述被動轉桿(334)，所述被動轉桿(334)周側開設有定位腔(3341)，所述定位腔(3341)內側滾動連接有所述滾珠(336)，所述驅動桿(333)內側開設有放置腔(3331)，所述放置腔(3331)內側滾動連接有所述滾珠(336)，所述被動轉桿(334)下端伸出所述驅動桿(333)，且焊接有所述連接頭(335)，所述連接頭(335)下端穿過所述行星架(323)，且與所述行星架(323)通過軸承連接，所述連接頭(335)底部中央開設有卡槽，所述連接頭(335)上還開設有連接孔，該卡槽內側卡接有放料架(4)，所述放料架(4)包括插接頭(401)、握桿(402)、頂板(403)、安裝螺桿(404)、物料支撐板(405)、滑桿(406)，所述插接頭(401)一體成型在所述握桿(402)頂部，所述插接頭(401)上開設有定位孔，所述插接頭(401)插接在該卡槽內側，且通過定位銷進行固定，所述握桿(402)底部通過螺栓連接有所述頂板(403)，所述頂板(403)周側螺接有若干個所述安裝螺桿(404)，所述安裝螺桿(404)外側通過軸承連接有所述物料支撐板(405)，所述物料支撐板(405)下端向下延伸，且滑動連接有所述滑桿(406)，每個所述物料支撐板(405)內側均開設有放料槽(4051)，且所述放料槽(4051)一一對應。

2.根據權利要求1所述的一種高效晶圓片的清洗裝置，其特征在于：所述清洗桶(1)還包括支撐腿(104)，所述外桶體(101)內部底端設置有所述支撐腿(104)，所述支撐腿(104)頂部支撐有所述內桶體(102)。

3.根據權利要求1所述的一種高效晶圓片的清洗裝置，其特征在于：所述清洗桶(1)還包括支撐環(11)，所述內桶體(102)外側頂部焊接有所述支撐環(11)，所述支撐環(11)搭接在所述外桶體(101)頂部。

4.根據權利要求1所述的一種高效晶圓片的清洗裝置，其特征在于：所述驅動機構(2)還包括轉動盤(202)、卡桿(204)、氣缸(205)、穩定架(206)，所述轉動盤(202)轉動連接在所述機架(201)內側，所述轉動盤(202)頂部中央通過螺栓連接有所述電機(203)，所述電機(203)的輸出端穿過所述轉動盤(202)，且與所述轉動盤(202)通過軸承連接，所述轉動盤(202)周側開設有若干個缺口(2021)，所述缺口(2021)內側卡接有所述卡桿(204)，所述卡桿(204)遠離所述轉動盤(202)的一端通過螺栓連接于所述氣缸(205)的輸出端，所述氣缸(205)通過螺栓連接在所述機架(201)頂部，所述卡桿(204)外側滑動連接有所述穩定架(206)，且所述穩定架(206)通過螺栓連接在所述機架(201)頂部。