[發明專利]金屬有機化學氣相沉積設備的反應器

在審

• 申請號: 202011608576.8
• 申請日: 2020-12-30
• 公開（公告）號: CN112877775A
• 公開（公告）日: 2021-06-01
• 發明（設計）人: 陳張笑雄;蔣曉旭;梅勁;葛永暉;王群
• 申請（專利權）人: 華燦光電（浙江）有限公司
• 主分類號: C30B25/08
• 分類號: C30B25/08;C30B25/14
• 代理公司: 北京三高永信知識產權代理有限責任公司 11138
• 代理人: 呂耀萍

1.一種金屬有機化學氣相沉積設備的反應器，其特征在于，包括反應腔體(10)和活動擋板(20)；

所述反應腔體(10)的側壁具有入料口(11)，所述入料口(11)貫穿所述反應腔體(10)的外側壁和內側壁；

所述活動擋板(20)位于所述反應腔體(10)內，所述活動擋板(20)包括相對的第一側壁(21)和第二側壁(22)，所述活動擋板(20)的第一側壁(21)與所述反應腔體(10)的內側壁滑動貼合，所述活動擋板(20)的第二側壁(22)上具有多個凹槽(221)，各所述凹槽(221)之間相互間隔，所述活動擋板(20)被配置為，有選擇性的在第一位置和第二位置之間移動，以使所述入料口(11)開啟或者封閉。

2.根據權利要求1所述的反應器，其特征在于，所述凹槽(221)為球冠形，且相鄰兩個凹槽(221)之間的最小距離相等。

3.根據權利要求2所述的反應器，其特征在于，所述凹槽(221)的底面直徑為4.5～7.5mm，所述凹槽(221)的高為0.3～1.5mm。

4.根據權利要求2所述的反應器，其特征在于，相鄰兩個凹槽(221)之間的最小距離大于所述凹槽(221)的底面直徑的一半，且小于所述凹槽(221)的底面直徑。

5.根據權利要求2所述的反應器，其特征在于，所述活動擋板(20)的第二側壁(22)位于底邊的位置具有倒角(23)，所述倒角(23)與所述凹槽(221)之間的最小距離不小于所述凹槽(221)的底面直徑。

6.根據權利要求1-5任一項所述的反應器，其特征在于，所述反應腔體(10)的內側壁為圓環形，所述活動擋板(20)為筒形結構件，所述活動擋板(20)與所述反應腔體(10)的內側壁同軸布置，所述活動擋板(20)在所述第一位置和所述第二位置之間的移動方向與所述活動擋板(20)的軸向相同。

7.根據權利要求1-5任一項所述的反應器，其特征在于，所述反應器還包括驅動件(30)，所述驅動件(30)的一部分位于所述反應腔體(10)外，所述驅動件(30)的另一部分位于所述反應腔體(10)內，且與所述活動擋板(20)相連，所述驅動件(30)用于驅動所述活動擋板(20)在所述第一位置和所述第二位置之間移動。

8.根據權利要求7所述的反應器，其特征在于，所述驅動件(30)為氣缸，所述氣缸包括缸體(31)和活塞桿(32)；

所述缸體(31)位于所述反應腔體(10)外，且與所述反應腔體(10)的外壁相連；

所述活塞桿(32)的一端伸入所述反應腔體(10)內，且與所述活動擋板(20)相連。

9.根據權利要求7所述的反應器，其特征在于，所述反應器還包括振動件(40)，所述振動件(40)位于所述反應腔體(10)外，且與所述驅動件(30)相連。

10.根據權利要求9所述的反應器，其特征在于，所述振動件(40)的正弦振動頻率為100～2000Hz。