[發明專利]一種在噴管內表面制備涂層的方法

在審

• 申請號: 202011608058.6
• 申請日: 2020-12-29
• 公開（公告）號: CN112746265A
• 公開（公告）日: 2021-05-04
• 發明（設計）人: 熊玉卿;張凱鋒;周暉;曹生珠;高恒蛟;成功
• 申請（專利權）人: 蘭州空間技術物理研究所
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;C23C16/18;C23C16/40;C23C16/04
• 代理公司: 北京理工大學專利中心 11120
• 代理人: 代麗

1.一種在噴管內表面制備涂層的方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟1，將需制備涂層的噴管置于與噴管尺寸相適配的反應室內，并將反應室抽真空；

步驟2，以脈沖形式向反應室內通入第一種氣相前驅體A，在所述噴管內表面以化學吸附形成一個單吸附層；

步驟3，向反應室內通入惰性氣體，將未吸附的多余前驅體A排除；

步驟4，以脈沖形式向反應室內通入第二種氣相前驅體B，所述前驅體B與前驅體A反應，在所述噴管內表面生成一個單原子層；

步驟5，向反應室內通入惰性氣體，將未反應的多余前驅體B排除；

步驟6，重復步驟2～步驟5，直到涂層厚度滿足要求為止。

2.如權利要求1所述方法，其特征在于，所述步驟1中，將反應室抽真空至1×10^-2Pa～1×10^-3Pa。

3.如權利要求1所述方法，其特征在于，所述前驅體A為乙酰丙酮銥或叔丁醇鉿；所述前驅體A的流量為10～50sccm，脈沖持續時間為2～10s。

4.如權利要求1或3所述方法，其特征在于，所述前驅體B為氧氣或氫氣；所述前驅體B的流量為10～50sccm，脈沖持續時間為2～10s。

5.如權利要求1所述方法，其特征在于，所述步驟3和步驟5中，所述惰性氣體為氬氣，其流量為20～50sccm，持續時間為5～30s。

6.如權利要求1所述的方法，其特征在于，若前驅體A、前驅體B為非氣態，則用加熱裝置將前驅體積加熱為氣態。

7.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述反應室的內表面與噴管的外表面相適配，噴管的內表面與反應室的內表面在同一面上。