[發明專利]一種旋轉式液體噴射裝置及激光加工裝置

有效

• 申請號: 202011607705.1
• 申請日: 2020-12-30
• 公開（公告）號: CN112693228B
• 公開（公告）日: 2022-04-19
• 發明（設計）人: 張偉;楊楚風;柳嘯;熊勝亮;陳暢;王亭入;安珂;盧紅利;尹建剛;高云峰
• 申請（專利權）人: 大族激光科技產業集團股份有限公司
• 主分類號: B41J2/01
• 分類號: B41J2/01;B41J3/407;H01L21/67
• 代理公司: 深圳市世聯合知識產權代理有限公司 44385
• 代理人: 汪琳琳

本發明屬于激光加工技術領域，涉及一種旋轉式液體噴射裝置及激光加工裝置，包括腔體、中空旋轉平臺、旋轉軸、擺臂、噴嘴裝置和管路組件，腔體圍合形成有容腔，中空旋轉平臺安裝于腔體上并位于腔體的外圍，旋轉軸的輸入端與中空旋轉平臺插接，輸出端伸至容腔內，旋轉軸沿軸向開設有至少1個輸送通孔，驅動裝置設置于中空旋轉平臺上；于容腔內，擺臂連接于旋轉軸的輸出端，噴嘴裝置設置于擺臂上；在驅動裝置的驅動下，旋轉軸旋轉以帶動擺臂擺動，整個擺動過程，因噴射液是從外部管路順著旋轉軸依次傳送到腔體內的管路組件和噴嘴裝置中，管路組件并沒有與腔體接觸，故可避免發生摩擦破損，利于減少維護和清理工作，以及提高整個的穩定性。

技術領域

本發明涉及激光加工技術領域，尤其涉及一種旋轉式液體噴射裝置及激光加工裝置。

背景技術

在高速電子元器件制備時，已逐漸采用低介電常數膜及銅質材料作為晶圓材料，但是這些晶圓難以使用普通的金剛石刀片進行切割加工。通常采用冷加工的激光開槽技術進行切割，具體地，將短脈沖激光聚焦到晶圓表面后進行照射，激光脈沖被低介質常數膜連續吸收，但吸收到一定程度的熱能后，低介電常數膜會瞬間汽化，由于相互作用的原理，被汽化的物質會消耗掉晶片的熱能，以此實現微熱影響的冷加工。為提高生產效率，有效地防止因崩缺、表層脫落等不良因素造成的加工質量問題，更進一步地，通常采用短脈沖激光先在切割道內刻蝕，形成凹槽；然后再使用金剛石刀片在凹槽中間區域實施全切割加工，從而將晶圓切割成若干個小的晶粒。

目前，晶圓激光開槽工藝一般包含晶圓涂膠(如給晶圓涂覆保護液，后續可簡稱為膠水)、晶圓激光開槽(利用激光刻蝕，形成凹槽)和晶圓清洗(利用純水將保護液和激光開槽產生的雜質清洗掉)這三個工序。其中涂膠或清洗工序需使用噴嘴擺臂機構來完成，且在運行過程中擺臂機構會進行0°～100°的旋轉。然而，在現有的涂膠裝置或清洗裝置中，涂膠液或清洗液等的輸送管道均需走腔體的內壁開設的走線孔，因擺臂機構的旋轉較頻繁，這些輸送管道在與腔體內壁的頻繁摩擦中必然容易發生破損，故此，不利于進行涂膠或清洗，同時，也需操作人員經常對這些輸送管道進行維護以及及時地清理(輸送管路破損后，膠水流出，一段時間內會固化，擺臂機構、涂膠腔和清洗腔的內部殘留有膠塊，清理時費時費力)。

發明內容

本發明實施例的目的在于提供一種旋轉式液體噴射裝置，用于解決現有的涂膠裝置或清洗裝置的輸送管道容易破損，不利于進行涂膠或清洗，以及需經常維護和及時清理的技術問題。

為了解決上述技術問題，本發明實施例提供一種旋轉式液體噴射裝置，采用了如下所述的技術方案：

該旋轉式液體噴射裝置包括支架、腔體、擺臂組件、噴嘴裝置和管路組件；

所述腔體設置于所述支架上，并圍合形成有用于容置工件的容腔；

所述擺臂組件包括安裝框架、中空旋轉平臺、旋轉軸、擺臂和驅動裝置，所述安裝框架設置于所述腔體上并位于所述腔體的外圍；

所述中空旋轉平臺安裝于所述安裝框架上，所述中空旋轉平臺沿其軸線方向開設有安裝通孔；

所述旋轉軸的輸入端通過插接于所述安裝通孔以安裝于所述中空旋轉平臺上，輸出端伸至所述容腔內；所述旋轉軸沿軸向開設有至少1個輸送通孔，于靠近所述旋轉軸的輸入端的一端，所述輸送通孔能通過連接頭與外部管路連通；

所述擺臂具有連接端和自由端，于所述容腔內，所述擺臂的連接端連接于所述旋轉軸的輸出端上；

所述驅動裝置設置于所述中空旋轉平臺上，用于驅動所述旋轉軸旋轉以帶動所述擺臂在預定范圍內擺動；

所述噴嘴裝置在所述容腔內設置于所述擺臂的自由端上；

于靠近所述旋轉軸的輸出端的一側，所述管路組件的一端連通所述旋轉軸的所述輸送通孔，另一端連通所述噴嘴裝置。