[發明專利]產生極紫外輻射的方法在審
| 申請號： | 202011606332.6 | 申請日： | 2020-12-30 |
| 公開（公告）號： | CN113126447A | 公開（公告）日： | 2021-07-16 |
| 發明（設計）人： | 楊建勛;張克正;楊建倫 | 申請（專利權）人： | 臺灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 隆天知識產權代理有限公司 72003 | 代理人： | 聶慧荃;閆華 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 產生 紫外 輻射 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種產生極紫外輻射的方法，包括：
在一極紫外輻射源設備中用一第一激光束同時照射兩個或多個目標微滴以生成極紫外輻射；以及
通過一成像鏡收集并且引導從該兩個或多個目標微滴生成的該極紫外輻射。
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