[發明專利]一種異質結太陽能電池的制備方法

有效

• 申請號: 202011595645.6
• 申請日: 2020-12-29
• 公開（公告）號: CN112701194B
• 公開（公告）日: 2023-03-24
• 發明（設計）人: 楊驥;黃金;王繼磊;白焱輝;鮑少娟;馮樂;任法淵;楊文亮;師海峰;杜凱
• 申請（專利權）人: 晉能清潔能源科技股份公司;晉能光伏技術有限責任公司
• 主分類號: H01L31/20
• 分類號: H01L31/20;H01L31/0216;H01L31/072
• 代理公司: 北京慕達星云知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11465
• 代理人: 趙徐平

1.一種異質結太陽能電池的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)對硅層襯底進行制絨清洗，形成雙面絨面結構；

(2)在所述硅層襯底的正面依次沉積第一本征非晶硅層、第一非晶硅膜層和第一導電膜層，在所述硅層襯底的背面依次沉積第二本征非晶硅層、第二非晶硅膜層和第二導電膜層；其中，所述第一導電膜層的沉積采用氧氬比為14％的工藝氣體，所述第二導電膜層的沉積采用氧氬比為12％的工藝氣體；

(3)在所述第一導電膜層的正面和所述第二導電膜層的背面分別印刷第一金屬電極和第二金屬電極，固化后，即得一種異質結太陽能電池。

2.根據權利要求1所述的一種異質結太陽能電池的制備方法，其特征在于，步驟(1)所述硅層襯底為N型單晶硅片，電阻率為1.0-7.0Ω·cm，厚度為50-200um。

3.根據權利要求1所述的一種異質結太陽能電池的制備方法，其特征在于，步驟(1)所述制絨采用堿溶液，所述堿溶液為濃度為49％的KOH或NaOH溶液；所述清洗采用質量配比為1:1的30％氨水雙氧水溶液。

4.根據權利要求1所述的一種異質結太陽能電池的制備方法，其特征在于，步驟(2)中所述第一本征非晶硅層、所述第一非晶硅膜層、所述第二本征非晶硅層和所述第二非晶硅膜層的沉積方法為等離子體增強化學氣相沉積法或催化化學氣相沉積法，所述第一導電膜層和所述第二導電膜層的沉積方法為快速等離子沉積法。

5.根據權利要求1所述的一種異質結太陽能電池的制備方法，其特征在于，步驟(2)中所述第一本征非晶硅層和所述第二本征非晶硅層的厚度均為5-20nm。

6.根據權利要求1所述的一種異質結太陽能電池的制備方法，其特征在于，步驟(2)中所述第一非晶硅膜層為P型非晶硅膜層，所述第二非晶硅膜層為N型非晶硅膜層；或者第一非晶硅膜層為N型非晶硅膜層，所述第二非晶硅膜層為P型非晶硅膜層；

其中，所述P型非晶硅膜層的厚度為5-20nm，N型非晶硅膜層的厚度為5-30nm。

7.根據權利要求1所述的一種異質結太陽能電池的制備方法，其特征在于，步驟(2)中所述第一導電膜層和所述第二導電膜層均為透明導電膜層，所述透明導電膜層的材料為ITO、IWO或AZO中的任意一種，厚度均為60-120nm。

8.根據權利要求1所述的一種異質結太陽能電池的制備方法，其特征在于，步驟(3)中所述第一金屬電極和所述第二金屬電極均為銀電極，所述銀電極正面和背面均包含主柵和細柵線；

其中，主柵線數為1-20，柵線寬度為0.8-1.2mm，副柵線數為80-200，柵線寬度為20-60μm。

9.根據權利要求1所述的一種異質結太陽能電池的制備方法，其特征在于，步驟(3)中所述印刷的方式為絲網印刷；所述固化的溫度為180-220℃，固化時間為10-30min。