[發明專利]一種CIGS共蒸法的卷對卷輸送同步控制結構

有效

• 申請號: 202011592354.1
• 申請日: 2020-12-29
• 公開（公告）號: CN112663019B
• 公開（公告）日: 2023-05-09
• 發明（設計）人: 王培雙;任宇航;羅明新;徐彩軍
• 申請（專利權）人: 尚越光電科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/24;C23C14/06;C23C14/54;H01L31/18
• 代理公司: 杭州知見專利代理有限公司 33295
• 代理人: 張華

1.一種CIGS共蒸法的卷對卷輸送同步控制結構，包括真空腔，真空腔內設置放卷軸和收卷軸，放卷軸和收卷軸之間收放輸送基底卷材，其特征在于：所述放卷軸和收卷軸之間設有若干輸送輥，每一個輸送輥的端部均沿軸向突出設置有半軸，所述半軸環周的一段是與輸送輥同軸線的半徑為R的圓柱面，半軸環周的其他位置與軸線的距離小于R，所述半軸一側設有頂針，所述頂針的尖端與輸送輥軸線距離為R；

頂針接觸信號輸出電信號，輸出周期變化的方波，通過方波的周期T可計算每一根輸送輥的轉速；不同輸送輥起始位置不同，方波之間存在相位差φ，不同輸送輥輸出方波的相位差φ恒定時，輸送輥同步，當不同輸送輥輸出方波的相位差φ發生變化，則輸送輥之間存在轉速差，存在轉速差則意味著輸送輥不同步，必然存在轉速較慢的輸送輥和基底卷材之間存在打滑或者空轉，導致基底卷材抖動，影響鍍膜均勻性，需要對基底卷材的張緊力進行調節，或者對輸送輥進行維護。

2.根據權利要求1所述的一種CIGS共蒸法的卷對卷輸送同步控制結構，其特征在于：所述頂針的后端以及輸送輥的端部在真空腔之外串聯有示波器及電源，共同組成電信號檢測回路。

3.根據權利要求1或2所述的一種CIGS共蒸法的卷對卷輸送同步控制結構，其特征在于：所述半軸為圓柱體的一部分，圓柱面弧度為90-270度。

4.根據權利要求1或2所述的一種CIGS共蒸法的卷對卷輸送同步控制結構，其特征在于：所述半軸為凸輪結構，凸輪的最大半徑為R，半徑為R的凸輪面連續設置90-270度。

5.根據權利要求1或2所述的一種CIGS共蒸法的卷對卷輸送同步控制結構，其特征在于：所述放卷軸、收卷軸的軸端也設置有半軸與頂針結構。

6.根據權利要求1所述的一種CIGS共蒸法的卷對卷輸送同步控制結構，其特征在于：靠近收卷軸的其中一個輸送輥為張緊輥，所述張緊輥的兩端分別設置獨立的張力傳感器。

7.根據權利要求1或6所述的一種CIGS共蒸法的卷對卷輸送同步控制結構，其特征在于：所述放卷軸連接設置可獨立控制的放卷伺服電機，所述收卷軸連接設置可獨立調節的收卷伺服電機。

8.根據權利要求1或2或6所述的一種CIGS共蒸法的卷對卷輸送同步控制結構，其特征在于：所述頂針傾斜設置，頂針的傾斜角度位于半軸圓柱面的徑向和切向之間。

9.根據權利要求8所述的一種CIGS共蒸法的卷對卷輸送同步控制結構，其特征在于：所述頂針與半軸圓柱面徑向的夾角不小于30度。

10.根據權利要求1或2或6所述的一種CIGS共蒸法的卷對卷輸送同步控制結構，其特征在于：所述半軸半徑為R的圓柱面為正公差，所述頂針尖端與軸線距離R為負公差。