[發明專利]一種管狀靶材的綁定方法

在審

• 申請號: 202011592322.1
• 申請日: 2020-12-29
• 公開（公告）號: CN112743075A
• 公開（公告）日: 2021-05-04
• 發明（設計）人: 姚力軍;邊逸軍;潘杰;王學澤;吳東青;黃潔文
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: B22F3/15
• 分類號: B22F3/15;C23C14/34;C23C14/35
• 代理公司: 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659
• 代理人: 王巖

1.一種管狀靶材的綁定方法，其特征在于，所述綁定方法包括如下步驟：

將包套內管的外表面進行車削螺紋處理，然后將靶材材料粉末填充至所述包套內管的外表面與包套外管的內表面形成的腔體中，依次進行脫氣處理和熱等靜壓處理后，除去所述包套外管，獲得將所述包套內管與靶管綁定的管狀靶材。

2.根據權利要求1所述的綁定方法，其特征在于，所述車削螺紋的螺紋寬度為0.5-2mm；

優選地，所述車削螺紋的螺紋深度為0.25-1mm。

3.根據權利要求1或2所述的綁定方法，其特征在于，所述靶材材料粉末為鉻粉末；

優選地，所述包套內管為不銹鋼包套內管；

優選地，所述包套外管為低碳鋼包套外管。

4.根據權利要求1-3任一項所述的綁定方法，其特征在于，在所述車削螺紋處理之后，所述靶材材料粉末填充處理之前，還包括依次進行的清洗干燥處理和包套組裝處理；

優選地，所述包套組裝處理包括：將所述包套內管和所述包套外管均焊接在圓形不銹鋼蓋板的同一側，并保證所述包套內管和所述包套外管的同心度公差≤0.05mm。

5.根據權利要求4所述的綁定方法，其特征在于，完成所述包套組裝處理后，所述包套外管的內徑和所述包套內管的外徑之間的差值為目標靶管厚度的2-3倍。

6.根據權利要求4或5所述的綁定方法，其特征在于，在所述靶材材料粉末填充處理之后，所述脫氣處理之前，還包括利用帶有脫氣孔的圓形不銹鋼蓋板進行包套密封處理。

7.根據權利要求1-6任一項所述的綁定方法，其特征在于，所述脫氣處理的溫度為400-600℃；

優選地，所述脫氣處理的時間為6-9h；

優選地，所述脫氣處理控制所述腔體內的真空度為1.0×10^-3-1.0×10^-2Pa。

8.根據權利要求1-7任一項所述的綁定方法，其特征在于，所述熱等靜壓處理的溫度為1000-1250℃；

優選地，所述熱等靜壓處理的壓力為100-150MPa；

優選地，所述熱等靜壓處理的時間為3-6h。

9.根據權利要求1-8任一項所述的綁定方法，其特征在于，將所述包套內管與靶管綁定的管狀靶材按照圖紙進行機加工，得到濺射用管狀靶材。

10.根據權利要求1-9任一項所述的綁定方法，其特征在于，所述綁定方法包括如下步驟：

(1)將不銹鋼包套內管的外表面進行車削螺紋處理，所述車削螺紋的螺紋寬度為0.5-2mm，螺紋深度為0.25-1mm，然后將車削螺紋處理后的不銹鋼包套內管、低碳鋼包套外管以及圓形不銹鋼蓋板進行清洗干燥處理，并將所述不銹鋼包套內管和所述低碳鋼包套外管均焊接在所述圓形不銹鋼蓋板的同一側進行包套組裝處理，保證同心度公差≤0.05mm，以及所述低碳鋼包套外管的內徑和所述不銹鋼包套內管的外徑之間的差值為目標靶管厚度的2-3倍；

(2)將鉻粉末填充至所述不銹鋼包套內管的外表面與所述低碳鋼包套外管的內表面形成的腔體中，利用帶有脫氣孔的圓形不銹鋼蓋板進行包套密封處理，然后在400-600℃下脫氣6-9h，控制所述腔體內的真空度為1.0×10^-3-1.0×10^-2Pa；

(3)將脫氣處理后的包套進行熱等靜壓處理，控制熱等靜壓處理的溫度為1000-1250℃，壓力為100-150MPa，時間為3-6h，然后除去所述低碳鋼包套外管、圓形不銹鋼蓋板以及帶有脫氣孔的圓形不銹鋼蓋板，獲得將所述不銹鋼包套內管與靶管綁定的管狀靶材，隨后按照圖紙進行機加工，得到濺射用管狀靶材。