[發(fā)明專利]太陽能電池測試方法和太陽能電池測試中間結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011590485.6
• 申請(qǐng)日: 2020-12-29
• 公開（公告）號(hào): CN112614915B
• 公開（公告）日: 2022-03-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 方祥;王偉明;李華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇宜興德融科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L31/18
• 分類號(hào): H01L31/18;H01L21/66;H01L31/0224
• 代理公司: 北京眾達(dá)德權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11570
• 代理人: 楊娟奕

1.一種太陽能電池測試方法，包括：

在襯底上制備包括n個(gè)堆疊的子電池的太陽能電池外延片,其中，第一至第n個(gè)子電池按朝向襯底的方向順序排列，各個(gè)子電池之間以及第n個(gè)子電池與襯底之間具有電接觸層，第一子電池的遠(yuǎn)離襯底的一側(cè)具有暴露的電接觸層，n≥1；

在太陽能電池外延片上形成n個(gè)臺(tái)階結(jié)構(gòu),以分別暴露第一至第n個(gè)子電池之間以及第n個(gè)子電池與襯底之間的電接觸層，使得各個(gè)子電池的電接觸層分別形成各個(gè)臺(tái)階結(jié)構(gòu)的臺(tái)階面；

分別在各個(gè)子電池的暴露的電接觸層上制備電極；以及

利用所制備的電極進(jìn)行太陽能電池性能測試。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池測試方法，還包括：

在形成臺(tái)階結(jié)構(gòu)之前，在太陽能電池外延片上形成隔離槽，所述隔離槽的深度到達(dá)襯底，以將測試區(qū)和非測試區(qū)隔離；并且

所述臺(tái)階結(jié)構(gòu)位于所述隔離槽包圍的所述測試區(qū)中。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的太陽能電池測試方法，其中，所述隔離槽和測試區(qū)形成于所述太陽能電池外延片的預(yù)計(jì)非使用區(qū)域。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池測試方法，其中，在各個(gè)臺(tái)階面上的各個(gè)電極在襯底上的投影相互分開。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池測試方法，其中，在各個(gè)臺(tái)階面上的電極的面積小于對(duì)應(yīng)臺(tái)階面的面積。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池測試方法，其中，所述襯底為臨時(shí)襯底,在所述臨時(shí)襯底和所述太陽能電池外延片之間形成有犧牲層。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池測試方法，其中，在太陽能電池外延片上形成n個(gè)臺(tái)階結(jié)構(gòu)具體包括：

采用第一掩模板通過光刻和腐蝕工藝去除第一子電池的一部分，暴露出第一子電池和第二子電池之間的電接觸層的一部分，在第一子電池和第二子電池間形成第一臺(tái)階結(jié)構(gòu)；

采用第二掩模板通過光刻和腐蝕工藝去除被暴露的第二子電池的一部分，暴露出第二子電池和第三子電池之間的電接觸層的一部分，在第二子電池和第三子電池間形成第二臺(tái)階結(jié)構(gòu)；

重復(fù)前述過程，在相鄰的子電池間形成連續(xù)的臺(tái)階結(jié)構(gòu)；

采用第n個(gè)掩模板通過光刻和腐蝕工藝去除通過前述步驟被暴露的第n個(gè)子電池的一部分，暴露出第n個(gè)子電池和襯底之間的電接觸層的一部分，在第n個(gè)子電池和襯底間形成第n個(gè)臺(tái)階結(jié)構(gòu)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池測試方法，其中，分別在各個(gè)子電池的電接觸層上制備電極包括：

在各個(gè)子電池的遠(yuǎn)離襯底側(cè)的電接觸層上分別制備第一類型電極；以及

在第n個(gè)子電池的靠近襯底側(cè)的電接觸層上制備第二類型電極。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的太陽能電池測試方法，其中，

在各個(gè)子電池的遠(yuǎn)離襯底側(cè)的電接觸層上分別制備第一類型電極包括：

在形成臺(tái)階結(jié)構(gòu)的太陽能電池外延片上涂敷光刻膠，采用第一電極掩模板通過光刻和腐蝕工藝形成光刻膠圖案，以去除各個(gè)子電池的遠(yuǎn)離襯底側(cè)的電接觸層上的待形成電極的區(qū)域的光刻膠；

在形成光刻膠圖案的太陽能電池外延片上沉積第一電極材料層；以及

腐蝕掉剩余的光刻膠及其上的電極材料，形成第一類型電極的圖案；并且

在第n個(gè)子電池的靠近襯底側(cè)的電接觸層上制備第二類型電極包括：

在形成臺(tái)階結(jié)構(gòu)的太陽能電池外延片上涂敷光刻膠，采用第二電極掩模板通過光刻和腐蝕工藝形成光刻膠圖案，以去除第n個(gè)子電池的靠近襯底側(cè)的電接觸層上的待形成電極的區(qū)域的光刻膠；

在形成光刻膠圖案的太陽能電池外延片上沉積第二電極材料層；以及

腐蝕掉剩余的光刻膠及其上的電極材料，形第二類型電極的圖案。

10.一種太陽能電池測試中間結(jié)構(gòu)，包括：

襯底；

在襯底上的包括n個(gè)堆疊的子電池的太陽能電池外延片，其中，第一至第n個(gè)子電池按朝向襯底的方向順序排列，各個(gè)子電池之間以及第n個(gè)子電池與襯底之間具有電接觸層，第一子電池的遠(yuǎn)離襯底的一側(cè)具有暴露的電接觸層，n≥1；

所述太陽能電池外延片和襯底之間具有犧牲層；

在太陽能電池外延片上形成有n個(gè)臺(tái)階結(jié)構(gòu),所述臺(tái)階結(jié)構(gòu)分別暴露各個(gè)子電池之間以及第n個(gè)子電池與襯底之間的電接觸層；

各個(gè)子電池的電接觸層分別形成各個(gè)臺(tái)階結(jié)構(gòu)的臺(tái)階面；并且

在各個(gè)子電池的電接觸層上形成有電極。