[發明專利]一種碳化硅半導體生產用的潔凈廠房

在審

• 申請號: 202011589200.7
• 申請日: 2020-12-29
• 公開（公告）號: CN112797560A
• 公開（公告）日: 2021-05-14
• 發明（設計）人: 魯煜;王祎;劉玉良;姜經理;譚大勝
• 申請（專利權）人: 浙江中電環境科技有限公司
• 主分類號: F24F8/158
• 分類號: F24F8/158;F24F8/20;F24F13/28;A62C3/02;A62C31/03;E04H5/02
• 代理公司: 嘉興啟帆專利代理事務所(普通合伙) 33253
• 代理人: 王家蕾

本發明屬于廠房技術領域，尤其為一種碳化硅半導體生產用的潔凈廠房，包括地面，所述地面的頂部固定連接有廠房本體，所述廠房本體的內部固定連接有擋板，所述擋板的頂部固定連接有凈化箱，所述擋板的頂部固定連接有吸風機，所述吸風機的輸入端與廠房本體連通，所述吸風機的輸出端與凈化箱連通，所述凈化箱的內壁固定連接有夾板。本發明通過吸風機的設置，可將空氣吸入凈化箱內，利用第一活性炭殺菌網和第二活性炭殺菌網的滅菌作用，對空氣進行凈化，增加廠房質量，配合防塵網的吸附效果，可將灰塵進行去除，進一步加強凈化效果，通過螺栓，使防塵網、第一活性炭殺菌網和第二活性炭殺菌網可以拆卸。

技術領域

本發明涉及廠房技術領域，具體為一種碳化硅半導體生產用的潔凈廠房。

背景技術

金剛砂又名碳化硅是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生產綠色碳化硅時需要加食鹽)等原料通過電阻爐高溫冶煉而成，碳化硅在大自然也存在罕見的礦物，莫桑石，碳化硅又稱碳硅石，在當代C、N、B等非氧化物高技術耐火原料中，碳化硅為應用最廣泛、最經濟的一種，可以稱為金鋼砂或耐火砂，如中國專利申請號為：CN201821321043.X，本實用新型公開了一種水漆生產用通風廠房，包括設置在廠房頂部的排風管，所述排風管上連接有多個傘狀風罩，所述排風管上還經三通管連接有側吸風管，所述側吸風管上連接有配合集料桶的側吸風罩，所述廠房的底部鋪設有進風管，進風管上開設有多個風口，所述進風管與廠房外部的進風機連通，所述排風管伸出廠房設置，排風管與排風機相連。

目前潔凈廠房存在以下問題：

1、不便將空氣進行凈化，使得廠房內的空氣質量下降，影響工作環境；

2、在發生火災時，不便及時進行滅火，對工作人員造成一定的危險性。

發明內容

(一)解決的技術問題

針對現有技術的不足，本發明提供了一種碳化硅半導體生產用的潔凈廠房，解決了現有技術中，不便將空氣進行凈化、以及不便及時進行滅火的問題。

(二)技術方案

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種碳化硅半導體生產用的潔凈廠房，包括地面，所述地面的頂部固定連接有廠房本體，所述廠房本體的內部固定連接有擋板，所述擋板的頂部固定連接有凈化箱，所述擋板的頂部固定連接有吸風機，所述吸風機的輸入端與廠房本體連通，所述吸風機的輸出端與凈化箱連通，所述凈化箱的內壁固定連接有夾板，兩個所述夾板之間滑動連接有防塵網，兩個所述夾板之間滑動連接有第一活性炭殺菌網，兩個所述夾板之間滑動連接有第二活性炭殺菌網，所述凈化箱的一側固定連接有出氣管，所述出氣管的另一端與廠房本體連通，所述廠房本體的一側固定連接有電機，所述電機的輸出軸固定連接有螺紋桿，所述螺紋桿的外表面螺紋連接有螺紋塊，所述地面的頂部固定連接有水箱，所述水箱的頂部固定連接有抽水泵，所述抽水泵的輸入端與水箱連通，所述抽水泵的輸出端通過軟管固定連接有噴頭，所述噴頭與螺紋塊固定連接。

作為本發明的一種優選技術方案，所述凈化箱的正面通過合頁轉動連接有拉門，所述拉門的一側固定連接有把手。

作為本發明的一種優選技術方案，所述廠房本體的內部固定連接有限位桿，所述限位桿的外表面滑動連接有套筒，所述套筒與螺紋塊固定連接。

作為本發明的一種優選技術方案，所述水箱的頂部固定連接有進水口，所述進水口的形狀為圓臺形。

作為本發明的一種優選技術方案，所述電機的外表面固定連接有保護罩，保護罩為圓形。

作為本發明的一種優選技術方案，所述夾板的內部螺紋連接有螺栓，所述螺栓分別與防塵網、第一活性炭殺菌網、第二活性炭殺菌網螺紋連接。

(三)有益效果

與現有技術相比，本發明提供了一種碳化硅半導體生產用的潔凈廠房，具備以下有益效果：