[發明專利]鋁銅旋轉靶的制備方法

有效

• 申請號: 202011583664.7
• 申請日: 2020-12-28
• 公開（公告）號: CN112795912B
• 公開（公告）日: 2022-07-01
• 發明（設計）人: 文崇斌;朱劉;童培云;余芳
• 申請（專利權）人: 先導薄膜材料（廣東）有限公司
• 主分類號: C23C24/04
• 分類號: C23C24/04;C22C21/12;C23C14/35
• 代理公司: 北京五洲洋和知識產權代理事務所(普通合伙) 11387
• 代理人: 張向琨

1.一種鋁銅旋轉靶的制備方法，其特征在于，包括步驟：

步驟一，將顆粒為D₅₀為15μm~45μm的鋁粉和銅粉混合均勻，然后裝入送粉器中；

步驟二，將背管進行外表面處理，以使背管的外表面的粗糙度Ra為8μm~13μm；

步驟三，將背管水平安裝在機架上，背管能夠圍繞軸線旋轉且能夠沿軸線往復運動；

步驟四，將噴槍安裝在機臺上，噴槍位于背管上方并垂直于噴槍的軸線，噴槍連接并連通送粉器，機臺能夠使噴槍上下移動；

步驟五，使背管圍繞軸線旋轉并沿軸線水平移動且噴槍向背管外表面噴射鋁粉和銅粉，其中，背管圍繞軸線旋轉的速度為30轉/分~45轉/分，背管沿軸線水平移動的速度為20mm/min~35mm/min，噴槍出口處溫度為350℃~400℃、壓力為3MPa~4MPa、送粉量為2kg/h~3.5kg/h，噴槍位于背管上方的初始距離為15mm~25mm；

在步驟一中，鋁粉和銅粉質量比99:1~99.9:0.1。

2.根據權利要求1所述的鋁銅旋轉靶的制備方法，其特征在于，在步驟二中，背管的材質為不銹鋼或鈦。

3.根據權利要求1所述的鋁銅旋轉靶的制備方法，其特征在于，在步驟二中，背管的外表面采用噴砂處理。

4.根據權利要求1所述的鋁銅旋轉靶的制備方法，其特征在于，背管每沿軸線單向運動一次，噴槍向上移動一次。

5.根據權利要求4所述的鋁銅旋轉靶的制備方法，其特征在于，噴槍每次向上移動的距離為0.1mm~0.2mm。