[發明專利]一種拋光墊的加工裝置及加工方法和由其制得的拋光墊

在審

• 申請號: 202011581971.1
• 申請日: 2020-12-28
• 公開（公告）號: CN112677065A
• 公開（公告）日: 2021-04-20
• 發明（設計）人: 姚力軍;潘杰;惠宏業;王學澤;趙建軍
• 申請（專利權）人: 上海江豐平芯電子科技有限公司
• 主分類號: B24D18/00
• 分類號: B24D18/00;B24B37/26
• 代理公司: 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659
• 代理人: 王巖

1.一種拋光墊的加工裝置，其特征在于，所述加工裝置包括齒輪式刀具。

2.根據權利要求1所述的加工裝置，其特征在于，所述齒輪式刀具包括銷子和設置在銷子上的齒輪刀；

優選地，所述銷子上齒輪刀的數量為1～28個，優選為4～15個；

優選地，所述齒輪刀的齒外圓直徑為10～25mm，優選為13～18mm；

優選地，所述齒輪刀的齒內圓直徑為7～22mm，優選為10～15mm；

優選地，所述齒輪刀的內圓直徑為4～8mm；

優選地，所述齒輪刀上齒形角的數量為10～50個，優選為14～30個；

優選地，所述銷子上齒輪刀之間設置有墊片；

優選地，所述墊片的內徑與齒輪刀的內圓直徑相同；

優選地，所述墊片的外徑為5～20mm，優選為8～13mm。

3.一種拋光墊的加工方法，其特征在于，所述加工方法采用權利要求1或2所述的拋光墊的加工裝置進行加工。

4.根據權利要求3所述的加工方法，其特征在于，所述加工方法包括如下步驟：

(1)拋光墊經所述拋光墊的加工裝置中齒輪式刀具加工；

(2)在步驟(1)所述加工過程中，齒輪式刀具經氣體吹掃進行冷卻，加工完成，得到加工后的拋光墊。

5.根據權利要求4所述的加工方法，其特征在于，步驟(1)中所述拋光墊在齒輪式刀具的轉動下進行加工；

優選地，所述加工包括溝槽加工；

優選地，所述加工的時間為2～10min，優選為3～5min；

優選地，所述齒輪式刀具轉動的轉速為1000～2500r/min，優選為1400～2000r/min。

6.根據權利要求4或5所述的加工方法，其特征在于，步驟(2)中所述齒輪式刀具經氣體對準齒輪式刀具的齒尖部位吹掃進行冷卻；

優選地，所述拋光墊經氣體吹掃進行冷卻；

優選地，所述氣體吹掃的壓力為3～5MPa，優選為3.5～4.5MPa。

7.根據權利要求4～6任一項所述的加工方法，其特征在于，在步驟(1)之前，還包括：將所述齒輪式刀具與加工裝置的軸承相連；

優選地，所述齒輪式刀具與的加工裝置的軸承相連。

8.根據權利要求4～7任一項所述的加工方法，其特征在于，在步驟(2)之后，還包括冷卻等待，取下加工后的拋光墊，放置下一拋光墊，進行下一加工處理；

優選地，所述冷卻等待的時間為0.5～4min，優選為1～3min。

9.根據權利要求3～8任一項所述的加工方法，其特征在于，所述加工方法包括如下步驟：

(1)將齒輪式刀具與加工裝置的軸承相連；

(2)啟動所述加工裝置的電機，電機的轉動帶動軸承轉動，從而帶動齒輪式刀具轉動；所述拋光墊在加工裝置中齒輪式刀具的轉動下進行溝槽加工，其中，所述齒輪式刀具轉動的轉速為1000～2500r/min，加工的時間為2～10min；

(3)步驟(2)所述加工過程中，齒輪式刀具經氣體對準齒輪式刀具的刀尖部位吹掃進行冷卻，拋光墊同時經氣體吹掃進行冷卻，加工完成，得到加工后的拋光墊，其中，所述氣體的壓力為3～5MPa；

(4)所述拋光墊經0.5～4min冷卻等待，取下加工后的拋光墊，放置下一拋光墊，進行下一加工處理。

10.一種拋光墊，其特征在于，所述拋光墊由權利要求3～9任一項所述的拋光墊的加工方法加工制得。