[發(fā)明專利]使用激光清洗機的掩模框架表面處理方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202011581737.9
• 申請日: 2020-12-28
• 公開（公告）號: CN114589166A
• 公開（公告）日: 2022-06-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 崔宗成
• 申請（專利權(quán)）人: A-成株式會社
• 主分類號: B08B7/00
• 分類號: B08B7/00;B08B13/00
• 代理公司: 北京潤平知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11283
• 代理人: 劉兵;田宏

1.一種使用激光清洗機的掩模框架表面處理方法，其通過使用具有設(shè)定配置的激光清洗機來去除掩模框架(10)的表面污染物、異物和雜質(zhì)，其特征在于，

所述激光清洗機設(shè)置為控制脈沖(波長)的最高峰值位于損傷閾值和消融閾值之間的區(qū)間，從而形成平坦形態(tài)的平頂區(qū)間，所述平頂區(qū)間形成為使多個最高峰點隨著非常狹窄間隔的脈沖(波長)周期反復(fù)連接，從而形成一條線或一個面積形態(tài)的峰值能量來維持的同時確保光束均質(zhì)化，以使對表面處理對象掩膜框架照射激光時，僅將表面污染物以及異物、雜質(zhì)氣化并蒸發(fā)后去除，而不會導(dǎo)致金屬表面損傷和熱變形。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的使用激光清洗機的掩模框架表面處理方法，其特征在于，

所述激光清洗機的配置為：

激光類型為Nd-YAG-Laser，

激光功率為最小130W至最大150W，

激光波長為1064±4nm，

激光束的溫度為400至800℃，

激光脈沖頻率為12至40kHz，

最大脈沖能量為14mJ，

最小脈沖寬度為80ns，

工作環(huán)境的溫度為10至38℃，濕度為10至95％。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的使用激光清洗機的掩模框架表面處理方法，其特征在于，

所述激光清洗機設(shè)置為從激光振蕩器(247)振蕩，并在所述激光振蕩器(247)的一側(cè)，設(shè)置有與真空設(shè)備(250)連接的抽吸管(260)，以立即吸入和回收在掩模框架的表面處理時氣化的污染物、異物以及雜質(zhì)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的使用激光清洗機的掩模框架表面處理方法，其特征在于，

所述激光清洗機通過安裝移送裝置(100)和激光加工模塊(200)完成三維(X，Y，Z)自動移送清洗。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的使用激光清洗機的掩模框架表面處理方法，其特征在于，

所述安裝移送裝置(100)，

由裝載裝配單元(110)和反向器裝配單元(120)構(gòu)成，

所述裝載裝配單元(110)設(shè)置為在底架(111)的上表面設(shè)置水平平行的多個移送支撐件(112)，并使所述任何一個移送支撐件(112)沿著寬度調(diào)整導(dǎo)軌(113)可滑動地移動，從而調(diào)整與彼此相對的另一側(cè)移送支撐件的間距，所述移送支撐件彼此相對的每個側(cè)面上設(shè)置有驅(qū)動電機(114)、連動齒輪(115)以及移送帶(116)，移送帶(116)的上側(cè)區(qū)間，安裝有具備座墊(117)的移送托盤(118)，當(dāng)安置表面處理對象掩模框架(10)，隨著裝載/卸載區(qū)間前后移動，

所述反向器裝配單元(120)設(shè)置為多個升降框架(121)布置在移送支撐件(112)的后端，所述升降框架(121)設(shè)置為在彼此相對的兩側(cè)具備通過上下皮帶(122)升降的夾具箱(123)，在所述夾具箱(123)的開口部形成有具有切口槽(124)的多個夾具(125)，以通過后方提取電機(126)來前進(jìn)或后退，以使掩膜框架的邊兩端分別被夾持，所述夾具箱(123)在內(nèi)置夾具(125)的狀態(tài)下，在啟動旋轉(zhuǎn)電機(127)時，以中心旋轉(zhuǎn)軸(128)為基準(zhǔn)反轉(zhuǎn)并旋轉(zhuǎn)180°，

所述激光加工模塊(200)，

設(shè)置有由支撐架(211)和支架(212)構(gòu)成的隧道式框架(210)，在所述支架(212)的上表面上沿著間隔方向的軸線設(shè)置有移送導(dǎo)軌(213)，所述移送導(dǎo)軌(213)的長度方向的線上設(shè)置有滑動移送構(gòu)件(220)，所述滑動移送構(gòu)件(220)設(shè)置為通過連接至可移動電機(230)的旋轉(zhuǎn)軸(231)來在移送導(dǎo)軌(213)的線上沿著左右間隔方向移送,所述滑動移送構(gòu)件(220)的上表面安裝有激光拾取裝置(240)的支撐件(241)，在所述支撐件(241)的前方設(shè)置有通過升降導(dǎo)軌(242)和上下移送構(gòu)件(243)安裝的固定支架(244)，所述固定支架(244)通過旋轉(zhuǎn)軸(245)和伺服電機(246)的驅(qū)動而上下升降(接近或遠(yuǎn)離表面處理對象掩模框架，從而調(diào)整激光照射間隔)，所述固定支架(244)的一側(cè)端部安裝有激光振蕩器(247)，從而完成三維(X，Y，Z)自動移送清洗。