[發明專利]樹脂組合物、固化物、及硅氧烷改性(甲基)丙烯酸樹脂

在審

• 申請號: 202011572751.2
• 申請日: 2020-12-24
• 公開（公告）號: CN113031399A
• 公開（公告）日: 2021-06-25
• 發明（設計）人: 引田二郎;宮崎誠太;鹽田大
• 申請（專利權）人: 東京應化工業株式會社
• 主分類號: G03F7/075
• 分類號: G03F7/075;G03F7/004;C08F220/32;C08F220/06;C08F220/18;C08F8/42
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 焦成美

1.樹脂組合物，其包含硅氧烷改性(甲基)丙烯酸樹脂(A1)，

所述硅氧烷改性(甲基)丙烯酸樹脂(A1)為(甲基)丙烯酸樹脂(A-I)與下述式(a-I)表示的含環氧基的環狀硅氧烷化合物(A-II)的反應物，所述(甲基)丙烯酸樹脂(A-I)包含來自具有脂環式環氧基的(甲基)丙烯酸酯的結構單元，

[化學式1]

式(a-I)中，R^a01、及R^a02表示含有環氧基的一價基團或烷基，x1表示3以上的整數，x1個R^a01及x1個R^a02中，至少2個為含有環氧基的一價基團。

2.根據權利要求1所述的樹脂組合物，其中，所述(甲基)丙烯酸樹脂(A-I)中的、來自具有脂環式環氧基的(甲基)丙烯酸酯的結構單元的量為50質量％以上。

3.根據權利要求1或2所述的樹脂組合物，其中，所述硅氧烷改性(甲基)丙烯酸樹脂(A1)為100質量份所述(甲基)丙烯酸樹脂(A-I)、與1質量份以上且50質量份以下所述含環氧基的環狀硅氧烷化合物(A-II)反應而得到的反應物。

4.根據權利要求1或2所述的樹脂組合物，其中，所述具有脂環式環氧基的(甲基)丙烯酸酯包含多環烷烴骨架。

5.根據權利要求1或2所述的樹脂組合物，其包含所述硅氧烷改性(甲基)丙烯酸樹脂(A1)、光聚合性單體(B)、和光聚合引發劑(C)，

所述硅氧烷改性(甲基)丙烯酸樹脂(A1)包含具有堿溶性基團的結構單元。

6.固化物，其是通過加熱、及/或曝光使權利要求1～5中任一項所述的所述樹脂組合物固化而成的。

7.固化物的制造方法，其對權利要求1～5中任一項所述的所述樹脂組合物進行加熱、及/或曝光。

8.經圖案化的固化膜的制造方法，其包括下述步驟：

將權利要求5所述的樹脂組合物涂布于基板上從而形成涂布膜的步驟；

對所述涂布膜以位置選擇性的方式進行曝光的步驟；

利用堿性顯影液對經曝光的所述涂布膜進行顯影從而使所述涂布膜進行圖案化的步驟；和

對經圖案化的所述涂布膜進行加熱的步驟。

9.硅氧烷改性(甲基)丙烯酸樹脂，其為(甲基)丙烯酸樹脂(A-I)與下述式(a-I)表示的含環氧基的環狀硅氧烷化合物(A-II)的反應物，所述(甲基)丙烯酸樹脂(A-I)包含來自具有脂環式環氧基的(甲基)丙烯酸酯的結構單元，

[化學式2]

式(a-I)中，R^a01、及R^a02表示含有環氧基的一價基團或烷基，x1表示3以上的整數，x1個R^a01及x1個R^a02中，至少2個為含有環氧基的一價基團。

10.根據權利要求9所述的硅氧烷改性(甲基)丙烯酸樹脂，其中，所述(甲基)丙烯酸樹脂(A-I)中的、來自具有脂環式環氧基的(甲基)丙烯酸酯的結構單元的量為50質量％以上。

11.根據權利要求9或10所述的硅氧烷改性(甲基)丙烯酸樹脂，其為100質量份所述(甲基)丙烯酸樹脂(A-I)、與1質量份以上且50質量份以下所述含環氧基的環狀硅氧烷化合物(A-II)反應而得到的反應物。

12.根據權利要求9或10所述的硅氧烷改性(甲基)丙烯酸樹脂，其中，所述具有脂環式環氧基的(甲基)丙烯酸酯包含多環烷烴骨架。