[發明專利]基于光纖的低溫近場光學顯微鏡

在審

• 申請號: 202011567791.8
• 申請日: 2020-12-26
• 公開（公告）號: CN112595860A
• 公開（公告）日: 2021-04-02
• 發明（設計）人: 劉銳
• 申請（專利權）人: 儀晟科學儀器（嘉興）有限公司
• 主分類號: G01Q60/18
• 分類號: G01Q60/18;G02B21/00
• 代理公司: 嘉興啟帆專利代理事務所(普通合伙) 33253
• 代理人: 王大國

1.一種基于光纖的低溫近場光學顯微鏡，用于測量樣品，包括光學部分和掃描機械部分，其特征在于，光學部分包括光源、光纖耦合器、干涉臂、探測器和近場耦合結構，其中：

所述光源與所述光纖耦合器的第一入射端口固定連接，所述探測器與所述光纖耦合器的第二入射端口固定連接；

所述光纖耦合器的第一出射端口與所述近場耦合結構固定連接，所述近場耦合結構用于將所述光源發射的光波束匯聚于掃描機械部分的掃描探針的針尖上的有效近場散射區域并且收集樣品近場信息，所述光纖耦合器的第二出射端口與所述干涉臂固定連接。

2.根據權利要求1所述的一種基于光纖的低溫近場光學顯微鏡，其特征在于，所述光源包括激光器和光纖隔離器，所述光纖隔離器與所述光纖耦合器的第一入射端口固定連接，所述光纖隔離器遠離所述光纖耦合器的一端與所述激光器固定連接。

3.根據權利要求2所述的一種基于光纖的低溫近場光學顯微鏡，其特征在于，所述激光器包括激光源、光學透鏡組、第一光纖、第一固定結構和驅動控制電路，所述激光源、所述光學透鏡組和所述第一光纖均安裝于所述第一固定結構，所述光學透鏡組安裝于所述激光源和所述第一光纖之間，所述第一光纖與所述光纖隔離器靠近所述激光器的一端連接。

4.根據權利要求3所述的一種基于光纖的低溫近場光學顯微鏡，其特征在于，所述干涉臂包括由壓電陶瓷驅動的光纖拉伸器和末端安裝有反向耦合器的第二光纖，所述第二光纖纏繞固定于所述光纖拉伸器，所述第二光纖遠離反向耦合器的一端與所述光纖耦合器的第二出射端口固定連接。

5.根據權利要求3所述的一種基于光纖的低溫近場光學顯微鏡，其特征在于，所述近場耦合結構包括傳輸光纖、準直透鏡、耦合透鏡和第二固定結構，所述傳輸光纖、所述準直透鏡和所述耦合透鏡均安裝于所述第二固定結構，所述準直透鏡安裝于所述傳輸光纖和所述耦合透鏡之間，所述傳輸光纖與所述第一出射端口連接。