[發明專利]一種超敏柔性傳感器及其制備方法

在審

• 申請號: 202011567504.3
• 申請日: 2020-12-25
• 公開（公告）號: CN112729628A
• 公開（公告）日: 2021-04-30
• 發明（設計）人: 韓志武;王宇飛;張芷嫣;劉林鵬;宋文達;張斌杰;李玉姣;張爽;李健豪;穆正知;李博
• 申請（專利權）人: 吉林大學
• 主分類號: G01L1/18
• 分類號: G01L1/18
• 代理公司: 深圳市君勝知識產權代理事務所(普通合伙) 44268
• 代理人: 劉芙蓉

1.一種超敏柔性傳感器，其特征在于，包括：柔性基底層以及柔性壓敏層；所述柔性基底層具有導電性，用于傳輸壓力響應信號；所述柔性壓敏層用于放大并傳輸所述壓力響應信號；所述柔性壓敏層包括微納結構陣列，所述柔性基底層疊設在所述微納結構陣列上。

2.如權利要求1所述的超敏柔性傳感器，其特征在于，還包括導線，所述導線包括與所述柔性基底層電連接的第一導線，與所述柔性壓敏層電連接的第二導線。

3.如權利要求1所述的超敏柔性傳感器，其特征在于，所述柔性基底層的材料選自具有導電性的聚乙烯醇、聚酯、聚酰亞胺、聚萘二甲酯乙二醇酯、聚二甲基硅氧烷中的一種。

4.如權利要求1所述的超敏柔性傳感器，其特征在于，所述微納結構陣列為具有金字塔狀的微納結構陣列。

5.如權利要求4所述的超敏柔性傳感器，其特征在于，所述金字塔狀的微納結構陣列中，每一所述金字塔狀的微納結構均包括蜂窩狀子結構。

6.如權利要求4所述的超敏柔性傳感器，其特征在于，所述金字塔狀微納結構陣列中，每一所述金字塔狀的微納結構的底邊長度為10-100um，每一所述金字塔狀的微納結構的塔高為10-100um。

7.如權利要求4所述的超敏柔性傳感器，其特征在于，所述金字塔狀微納結構陣列中，相鄰所述金字塔狀的微納結構的間距為10-100um。

8.如權利要求5所述的超敏柔性傳感器，其特征在于，所述蜂窩狀子結構的空隙為100nm-1um。

9.一種權利要求1所述的超敏柔性傳感器的制備方法，其特征在于，包括：

提供柔性基底層，所述柔性基底層具有導電性；

制備負模結構，向所述負模結構中加注柔性材料進行倒膜，得到半成品；

對所述半成品中的所述負模結構進行溶解，得到柔性壓敏層，所述柔性壓敏層包括微納結構；

將所述柔性基底層疊設在所述微納結構上，得到超敏柔性傳感器。

10.如權利要求9所述的超敏柔性傳感器的制備方法，其特征在于，所述制備負模結構，向所述負模結構中加注柔性材料進行倒膜，得到半成品，具體包括：

建立金字塔三維模型正模結構，通過建模軟件布爾操作，建立金字塔三維模型負模結構；

對所述金字塔三維模型負結構進行微納加工，得到微納級金字塔三維模型負結構；

向所述微納級金字塔三維模型負結構中加注柔性材料進行倒膜，得到半成品。